[发明专利]气体静压主轴气膜速度场测试装置在审
| 申请号： | 201910409528.7 | 申请日： | 2019-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN110208571A | 公开（公告）日： | 2019-09-06 |
| 发明（设计）人： | 张明;宫睿嵘;杜颖 | 申请（专利权）人： | 浙江工业大学 |
| 主分类号： | G01P5/20 | 分类号： | G01P5/20;G01P5/26 |
| 代理公司： | 杭州斯可睿专利事务所有限公司 33241 | 代理人： | 王利强 |
| 地址： | 310014 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种气体静压主轴气膜速度场测试装置，包括气体检测部分和气体静压主轴及供气部分，所述气体检测部分采用多普勒OCT结构，包括宽带相干光源、信号采集处理系统、参考臂，参考镜、50/50分束器、样品臂和检测探针，所述的宽带相干光源利用光纤与50/50分束器的输入端口相连，50/50分束器的两个输出端口分别以光纤连接，构建所述的样品臂与参考臂，参考臂将光束引导至参考镜前，检测探针位于样品臂上，信号采集处理系统利用光纤与50/50分束器的反射端口相连，所述检测探针放入气体静压主轴及供气部分的倾斜细孔内，检测探针密封固定于倾斜细孔内。本发明结构简单，适用范围广泛的气体静压主轴气膜速度场测试装置。 | ||
| 搜索关键词： | 气体静压主轴 检测探针 测试装置 参考臂 速度场 样品臂 气膜 信号采集处理系统 气体检测 相干光源 参考镜 宽带 细孔 供气 光纤 多普勒 反射端口 光束引导 光纤连接 密封固定 输出端口 输入端口 放入 构建 | ||
【主权项】：
1.一种气体静压主轴气膜速度场测试装置，其特征在于，所述装置包括气体检测部分和气体静压主轴及供气部分，所述气体检测部分采用多普勒OCT结构，所述气体检测部分包括宽带相干光源、信号采集处理系统、参考臂，参考镜、50/50分束器、样品臂和检测探针，所述的宽带相干光源利用光纤与50/50分束器的输入端口相连，50/50分束器的两个输出端口分别以光纤连接，构建所述的样品臂与参考臂，参考臂将光束引导至参考镜前，检测探针位于样品臂上，信号采集处理系统利用光纤与50/50分束器的反射端口相连，所述检测探针放入气体静压主轴及供气部分的倾斜细孔内，检测探针密封固定于倾斜细孔内。
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