[发明专利]针对呼出气的湿度传感器制备方法及其检测系统

摘要

本发明公开了一种针对呼出气的湿度传感器制备方法及其检测系统，属于传感器材料及气体检测系统领域，将微纳米传感器与MEMS工艺结合，构建了一种针对呼出气的湿度传感器，提高了传感响应效率和耐受性能，本发明还提供的可穿戴式的便携式实时呼吸检测系统，使用高灵敏度、低成本、宽范围、快速的湿度传感器，具有合理的响应和恢复时间,同时具有良好的可重复性，使用寿命长，能够在人们特别是老年人突发一些不可预测的事故时发送信息以寻求帮助。

主权项

1.一种针对呼出气的湿度传感器制备方法，其特征在于，湿度传感器表面采用氧化铟‑氧化石墨烯，In₂O₃‑GO湿度传感器制备步骤包括：1)首先，采用水热法制备In₂O₃；2)然后，使用环氧树脂材料作为叉指电极的基板；将电极材料使用光刻技术在基板上的两个不同起始点以相同方向缠绕在中心上，以形成叉指电极背面图案；3)进一步，制备In₂O₃‑GO混合薄膜：①将0.01g的In₂O₃粉末与1.71g的0.3wt％GO水溶液一起混合，以使In₂O₃：GO质量分数比为7：3；②将混合物搅拌20分钟，然后用超声处理30分钟，得到均匀的溶液；③溶液被橡胶头滴管吸收，滴在带有叉指电极的环氧树脂基板上，形成湿度敏感的传感膜；④将传感器置于60℃的真空烘箱中并干燥4小时；其中，在环氧树脂基板表面制造In₂O₃‑GO混合薄膜之后，叉指电极的电容随湿度的变化而变化。