[发明专利]制备组分可调的二维h-BNC杂化薄膜的方法在审
| 申请号： | 201910387175.5 | 申请日： | 2019-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN111607775A | 公开（公告）日： | 2020-09-01 |
| 发明（设计）人： | 孟军华;张兴旺;程立昆;尹志岗;吴金良 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | C23C14/46 | 分类号： | C23C14/46;C23C14/06;C23C14/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 李佳 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种制备组分可调的二维h‑BNC杂化薄膜的方法。该方法包括：准备衬底并将衬底置于离子束溅射沉积系统内；预抽背底真空，然后在氢气气氛中对衬底进行升温并退火；退火结束后关闭氢气使腔室恢复至真空环境，然后向腔室内通入甲烷和氩气；利用离子源产生氩离子束，轰击烧结的氮化硼靶材同时将甲烷裂解，使得硼、氮、碳原子在衬底表面沉积，形成二维h‑BNC杂化薄膜；生长结束后，关闭甲烷气体、加热源使样品随炉降温，最终得到二维h‑BNC杂化薄膜。本发明制备二维h‑BNC杂化薄膜的方法，不仅可以有效避免前驱体不稳定、副产物多等问题，而且可控性好，制备的薄膜均匀性好。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 组分 可调 二维 bnc 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
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