[发明专利]一种石墨烯压力传感器及其结构和制备方法有效
| 申请号： | 201910386519.0 | 申请日： | 2019-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN110207867B | 公开（公告）日： | 2021-01-26 |
| 发明（设计）人： | 钟高余;李书慧;王虞焱;沙加暐 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | G01L1/22 | 分类号： | G01L1/22;A61B5/02 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 31200 | 代理人： | 陆飞;陆尤 |
| 地址： | 200433 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明属于传感器技术领域，具体为一种石墨烯压力传感器及其制备方法。本发明的石墨烯压力传感器由叉指电极层、镶嵌石墨烯弹性衬底层、柔性封装层组成；镶嵌石墨烯弹性衬底层包含石墨烯压力感应层、弹性粘附层、柔性薄膜层；石墨烯压力感应层镶嵌在弹性黏附层上，弹性粘附层直接贴附在柔性薄膜层，且石墨烯压力感应层与叉指电极层的叉指区轻微接触；所述封装层覆盖镶嵌石墨烯弹性衬底层及叉指电极叉指区。本发明的石墨烯压力传感器灵敏度高、结构简单，工艺简易，感应压力范围宽并且具有柔性，可用于可穿戴设备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 压力传感器 及其 结构 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种石墨烯压力传感器，其特征在于，由叉指电极层、镶嵌石墨烯弹性衬底层、柔性封装层组成；其中：所述叉指电极层分为叉指区与平面区；所述镶嵌石墨烯弹性衬底层包含石墨烯压力感应层、弹性粘附层、柔性薄膜层；所述石墨烯压力感应层镶嵌在弹性黏附层上，弹性粘附层直接贴附在柔性薄膜层，且石墨烯压力感应层与所述叉指电极层的叉指区轻微接触；所述封装层覆盖镶嵌石墨烯弹性衬底层及叉指电极叉指区。
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