[发明专利]一种光学硬脆材料抛光加工表面形貌的预测方法有效

专利信息
申请号: 201910385530.5 申请日: 2019-05-09
公开(公告)号: CN110328575B 公开(公告)日: 2020-07-28
发明(设计)人: 王钊;马哲伦;赵雨;陈豪;于天彪;赵继 申请(专利权)人: 东北大学
主分类号: B24B13/00 分类号: B24B13/00;G06F17/18
代理公司: 北京易捷胜知识产权代理事务所(普通合伙) 11613 代理人: 韩国胜
地址: 110169 辽*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 发明属于材料加工技术领域,尤其涉及一种光学硬脆材料抛光加工表面形貌的预测方法。该方法包括如下步骤:确定微凸峰‑工件间的接触信息;获取磨粒尺寸分布函数;根据接触信息及预先获得的抛光液浓度,获取有效磨粒数;结合接触信息和磨粒尺寸分布函数,确定磨粒‑工件间的相对运动方式;根据磨粒‑工件间的相对运动方式,确定工件表面材料的去除方式及产生的痕迹轮廓;根据单颗磨粒受力情况,并结合抛光头相对工件的运动情况,获得磨粒的运动轨迹;根据磨粒‑工件间的相对运动方式、磨粒的运动轨迹,获得工件表面的形貌轮廓。本发明提供的预测方法的预测结果更加准确,同时为光学硬脆材料抛光加工过程中的参数设置提供参考,提高抛光效率。
搜索关键词: 一种 光学 材料 抛光 加工 表面 形貌 预测 方法
【主权项】:
1.一种光学硬脆材料抛光加工表面形貌的预测方法,利用抛光头和抛光液中的磨粒对工件表面进行抛光,其特征在于,包括如下步骤:S1、借助于计算机程序获取通过设备扫描统计的抛光头微凸峰数量及尺寸,确定微凸峰‑工件间的接触信息,所述接触信息包括各个微凸峰与工件的接触面积及接触压强;S2、借助于计算机程序获取通过设备扫描统计的磨粒尺寸分布函数;S3、根据步骤S1得到的微凸峰‑工件间的接触面积及预先获得的抛光液浓度,获取接触面积内的有效磨粒数;S4、借助于计算机程序,结合步骤S1得到的微凸峰‑工件间的接触压强和步骤S2得到的磨粒尺寸分布函数,分析单颗磨粒受力情况,确定单颗磨粒在工件表面和抛光头表面的压入深度,进而确定磨粒‑工件间的相对运动方式;所述相对运动方式包括滚动运动和滑动运动;S5、根据磨粒‑工件间的相对运动方式,确定工件表面材料的去除方式及产生的痕迹轮廓;S6、根据步骤S4得到的单颗磨粒受力情况,并结合抛光头相对工件的运动情况,获得磨粒的运动轨迹;S7、借助于计算机程序,根据磨粒‑工件间的相对运动方式、产生的痕迹轮廓及磨粒的运动轨迹,获得单颗磨粒在工件表面产生的形貌轮廓,结合所述有效磨粒数进行叠加,获得工件表面的形貌轮廓。
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