[发明专利]一种利用激光制备图案化石墨烯温度传感器的方法有效
| 申请号： | 201910378266.2 | 申请日： | 2019-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN110108376B | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 叶晓慧;姚心成;刘秋昱;齐明;杨艳玲;冯雷;锁国权;张荔;侯小江;陈志刚 | 申请（专利权）人： | 陕西科技大学 |
| 主分类号： | G01K7/00 | 分类号： | G01K7/00 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 徐文权 |
| 地址： | 710021 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供的一种利用激光制备图案化石墨烯温度传感的方法，包括以下步骤：步骤1，将载有石墨烯的铜箔样品放入腐蚀溶液中进行刻蚀箔，待样品中的铜被完全刻蚀后，将石墨烯转移至去离子水中进行清洗，之后再将石墨烯转移至透明基底上；步骤2，在载有石墨烯的柔性基底上设置阵列式布置的几何图案，得到具有几何图案的柔性基底，其中，两个相邻的几何图案之间的间距为50～1000μm；每个图案的边长为30～300μm；步骤3，利用脉冲激光刻蚀掉步骤2中的具有几何图片的柔性基底上的几何图案，得到透明基底表面形成图案化石墨烯；步骤4，将透明基底表面形成图案化石墨烯组装成石墨烯温度传感器；本发明的制备过程安全、无污染、可在常温常压下开放环境中完成制备过程；同时，本发明填补了温度传感器在柔性透明纳米传感器方面的空白。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 激光 制备 图案 化石 温度传感器 方法 | ||
【主权项】：
1.一种利用激光制备图案化石墨烯温度传感器的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1，将载有石墨烯的铜箔样品放入腐蚀溶液中进行刻蚀箔，待样品中的铜被完全刻蚀后，将石墨烯转移至去离子水中进行清洗，之后再将石墨烯转移至透明基底上；步骤2，在载有石墨烯的柔性基底上设置阵列式布置的几何图案，得到具有几何图案的柔性基底，其中，两个相邻的几何图案之间的间距为50～1000μm；每个图案的边长为30～300μm；步骤3，利用脉冲激光刻蚀掉步骤2中的具有几何图片的柔性基底上的几何图案，得到透明基底表面形成图案化石墨烯；步骤4，将透明基底表面形成图案化石墨烯组装成石墨烯温度传感器。
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