[发明专利]微电子机械传感器和用于制造微电子机械传感器的方法有效
| 申请号： | 201910374953.7 | 申请日： | 2019-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN110451451B | 公开（公告）日： | 2023-09-01 |
| 发明（设计）人： | D·迈因霍尔德;S·比塞尔特;E·兰德格拉夫 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技德累斯顿公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81B7/00;B81B7/02;B81C1/00;B81C3/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 郑立柱;崔卿虎 |
| 地址： | 德国德*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文公开了微电子机械传感器和用于制造微电子机械传感器的方法。一种微电子机械传感器，包括：第一衬底(202)，包括相对于第一衬底(202)可移动的元件(210)；以及第二衬底(204)，包括第一接触垫(206；506)和第二接触垫(208；508)。第一衬底(202)被接合到第二衬底(204)，使得元件(210)的移动改变第一接触垫(206；506)与第二接触垫(208；508)之间的耦合。 | ||
| 搜索关键词： | 微电子 机械 传感器 用于 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种微电子机械传感器，包括：/n第一衬底(202)，包括相对于所述第一衬底(202)可移动的元件(210)；/n第二衬底(204)，包括第一接触垫(206；506)和第二接触垫(208；508)；其中/n所述第一衬底(202)被接合到所述第二衬底(204)，使得所述元件(210)的移动改变所述第一接触垫(206；506)与所述第二接触垫(208；508)之间的耦合。/n
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