[发明专利]用于测量微流体压力的微传感器有效
| 申请号： | 201910372151.2 | 申请日： | 2019-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN110132479B | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 桂林;张仁昌;叶子 | 申请（专利权）人： | 中国科学院理化技术研究所 |
| 主分类号： | H01L29/84 | 分类号： | H01L29/84;G01L9/04;G01L9/12;B01L3/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 苗青盛;吴欢燕 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及微流控技术领域，提供了一种用于测量微流体压力的微传感器，包括流体流道层、弹性层和检测层，弹性层位于流体流道层和检测层之间，流体流道层内设有流体微流道，检测层设有检测微流道和电极微流道，检测微流道包括感应区和显示区，感应区与流体微流道相对应，感应区与显示区内填充有互不相溶的流体且电学常数不同，感应区与显示区之间形成分割界面，分割界面随流体微流道内流体压力的变化在检测微流道内移动；电极微流道设于检测微流道的侧面，电极微流道与检测微流道形成电信号检测系统。本发明提供一种用于测量微流体压力的微传感器，来适应微流控芯片上的微流体压力测量，减小环境对测量结果的干扰，实现传感器的微型化和集成化。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 测量 流体 压力 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种用于测量微流体压力的微传感器，其特征在于，包括流体流道层、弹性层和检测层，所述弹性层位于所述流体流道层和所述检测层之间，所述流体流道层内设有流体微流道，所述检测层设有检测微流道和电极微流道，所述检测微流道包括感应区和显示区，所述感应区与所述流体微流道相对应，所述感应区与所述显示区内填充有互不相溶的流体且电学常数不同，所述感应区与所述显示区之间形成分割界面所述分割界面随所述流体微流道内流体压力的变化在所述检测微流道内移动；所述电极微流道设于所述检测微流道的侧面，所述电极微流道与所述检测微流道形成电信号检测系统，所述电信号检测系统用于测量所述检测微流道内的电信号变化。
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