[发明专利]应用于多腔体镀膜装置的机械手及多腔体镀膜装置有效
| 申请号： | 201910370791.X | 申请日： | 2019-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN109913840B | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 蒲云体;马平;彭东旭;卢忠文;吕亮;张明骁;邱服民;乔曌 | 申请（专利权）人： | 成都精密光学工程研究中心 |
| 主分类号： | C23C14/46 | 分类号： | C23C14/46;C23C14/30;C23C14/56;B25J9/02 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 阳佑虹 |
| 地址： | 610041 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种应用于多腔体镀膜装置的机械手及多腔体镀膜装置。机械手包括主轴电机、伸缩机械臂和抓取机械手；伸缩机械臂的一端安装于所述主轴电机的竖轴上，并在主轴电机竖轴的带动下旋转，伸缩机械臂的另一端连接抓取机械手；伸缩机械臂具备X轴和Z轴两个方向的运动自由度，所述抓取机械手可受控抓紧或松开。本发明机械手可实现对元件在相邻腔室间的自由传递。镀膜装置包括若干真空腔室，至少两个真空腔室对待镀膜元件所采用的镀膜方式不同，每相邻两真空腔室间通过一真空管道连通，在每一真空管道中，均安装有本发明的机械手。本发明镀膜装置采用多种镀膜方式对元件进行联合镀膜处理，结合了多种镀膜方式的有点，可提高所镀薄膜的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 应用于 多腔体 镀膜 装置 机械手 | ||
【主权项】：
1.一种应用于多腔体镀膜装置的机械手，其特征在于，其包括主轴电机、伸缩机械臂和抓取机械手；所述伸缩机械臂的一端安装于所述主轴电机的竖轴上，并在主轴电机竖轴的带动下旋转，所述伸缩机械臂的另一端连接所述抓取机械手；所述伸缩机械臂具备X轴和Z轴两个方向的运动自由度，所述抓取机械手可受控抓紧或松开。
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