[发明专利]一种花色碳化硅宝石的制备方法有效
申请号: | 201910355286.8 | 申请日: | 2019-04-29 |
公开(公告)号: | CN110042469B | 公开(公告)日: | 2021-05-11 |
发明(设计)人: | 李祥彪;仲崇贵;杨培培;魏明杰;罗礼进;刘勇;渠莉华;周朋霞 | 申请(专利权)人: | 南通大学 |
主分类号: | C30B29/36 | 分类号: | C30B29/36;C30B23/02 |
代理公司: | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人: | 许洁 |
地址: | 226000*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种花色碳化硅宝石的制备方法,通过使用图形化碳化硅单晶衬底,衬底背面粘在石墨坩埚顶部上盖内层,石墨坩埚内放入高纯碳化硅原料,石墨坩埚放入晶体生长炉中,采用物理气相传输法晶体生长系统,晶体生长温度在1800℃‑2600℃,其中衬底温度在2300℃以下,原料温度大于2300℃,氩气氛下生长,反应室内气压在1‑4kPa之间,生长时间在60小时以上,得到碳化硅晶体作为碳化硅宝石原料,经过宝石加工,可获得黄绿、褐绿等花色碳化硅宝石。 | ||
搜索关键词: | 一种 花色 碳化硅 宝石 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种花色碳化硅宝石的制备方法,其特征在于,包括下述步骤:(1)使用的碳化硅单晶衬底生长面为图形化处理后,所述碳化硅单晶衬底硅面为平面结构,碳面为波浪纹形或台阶形开孔结构,将所述碳化硅单晶衬底的平面结构一面固定在石墨坩埚上盖内顶部;(2)高纯碳化硅粉料放于石墨坩埚内底部,坩埚上盖与碳化硅粉料相对放置,封闭放入加热炉进行碳化硅晶体生长,石墨坩埚放入加热炉后,炉腔密封抽真空,通入惰性气体,所述加热炉的加热线圈围绕在坩埚外围对坩埚进行加热,通过线圈和坩埚位置调节获得合适的热场;(3)碳化硅晶体生长过程中,采用物理气相传输法晶体生长系统,其生长温度保持在1800℃‑2600℃,其中衬底温度在2300℃以下,原料温度大于2300℃,生长压力保持1‑4kPa,炉内气压由惰性气体控制,生长时间在60小时以上;(4)高纯碳化硅粉料高温下升华生成硅、硅二碳、硅碳二等气相组分形态,这些气相组分在低温区的图形化碳化硅衬底上生长成为碳化硅晶体;(5)得到碳化硅晶体作为碳化硅宝石原料,经过宝石加工,可获得黄绿、褐绿等花色碳化硅宝石。
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