[发明专利]一种花色碳化硅宝石的制备方法有效

专利信息
申请号: 201910355286.8 申请日: 2019-04-29
公开(公告)号: CN110042469B 公开(公告)日: 2021-05-11
发明(设计)人: 李祥彪;仲崇贵;杨培培;魏明杰;罗礼进;刘勇;渠莉华;周朋霞 申请(专利权)人: 南通大学
主分类号: C30B29/36 分类号: C30B29/36;C30B23/02
代理公司: 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 代理人: 许洁
地址: 226000*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明公开了一种花色碳化硅宝石的制备方法,通过使用图形化碳化硅单晶衬底,衬底背面粘在石墨坩埚顶部上盖内层,石墨坩埚内放入高纯碳化硅原料,石墨坩埚放入晶体生长炉中,采用物理气相传输法晶体生长系统,晶体生长温度在1800℃‑2600℃,其中衬底温度在2300℃以下,原料温度大于2300℃,氩气氛下生长,反应室内气压在1‑4kPa之间,生长时间在60小时以上,得到碳化硅晶体作为碳化硅宝石原料,经过宝石加工,可获得黄绿、褐绿等花色碳化硅宝石。
搜索关键词: 一种 花色 碳化硅 宝石 制备 方法
【主权项】:
1.一种花色碳化硅宝石的制备方法,其特征在于,包括下述步骤:(1)使用的碳化硅单晶衬底生长面为图形化处理后,所述碳化硅单晶衬底硅面为平面结构,碳面为波浪纹形或台阶形开孔结构,将所述碳化硅单晶衬底的平面结构一面固定在石墨坩埚上盖内顶部;(2)高纯碳化硅粉料放于石墨坩埚内底部,坩埚上盖与碳化硅粉料相对放置,封闭放入加热炉进行碳化硅晶体生长,石墨坩埚放入加热炉后,炉腔密封抽真空,通入惰性气体,所述加热炉的加热线圈围绕在坩埚外围对坩埚进行加热,通过线圈和坩埚位置调节获得合适的热场;(3)碳化硅晶体生长过程中,采用物理气相传输法晶体生长系统,其生长温度保持在1800℃‑2600℃,其中衬底温度在2300℃以下,原料温度大于2300℃,生长压力保持1‑4kPa,炉内气压由惰性气体控制,生长时间在60小时以上;(4)高纯碳化硅粉料高温下升华生成硅、硅二碳、硅碳二等气相组分形态,这些气相组分在低温区的图形化碳化硅衬底上生长成为碳化硅晶体;(5)得到碳化硅晶体作为碳化硅宝石原料,经过宝石加工,可获得黄绿、褐绿等花色碳化硅宝石。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南通大学,未经南通大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201910355286.8/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top