[发明专利]微波等离子体装置及等离子体激发方法有效
| 申请号： | 201910354079.0 | 申请日： | 2019-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN110049614B | 公开（公告）日： | 2021-12-03 |
| 发明（设计）人： | 刘新宇;王盛凯;汤益丹;白云 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种微波等离子体装置，其中，包括：等离子体反应单元，具有一腔体；原子态控制单元，包括梯度电极，所述梯度电极设置于所述腔体内，配置为在腔体至少部分空间内产生梯度电场；气体单元，用于向等离子体反应单元的腔体内通入气体；微波产生单元，产生并传输微波至该至少部分空间。本发明的装置借助梯度外部电场扰动装置，能够实现原子态等离子的产生、筛选与维持，还可以实现分子态等离子和原子态等离子的调控激发。 | ||
| 搜索关键词： | 微波 等离子体 装置 激发 方法 | ||
【主权项】：
1.一种微波等离子体装置，其中，包括：等离子体反应单元，具有一腔体；原子态控制单元，包括梯度电极，所述梯度电极设置于所述腔体内，配置为在腔体至少部分空间内产生梯度电场；气体单元，用于向等离子体反应单元的腔体内通入气体；微波产生单元，产生并传输微波至该至少部分空间。
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