[发明专利]一种用于吸附HF气体中微量水分的CaF2有效

专利信息
申请号: 201910353568.4 申请日: 2019-04-29
公开(公告)号: CN110038509B 公开(公告)日: 2021-12-14
发明(设计)人: 朱伟东;杨宁;张璐璐;许春慧;王雪;王宁伟;陈德利;赵晓亚;王树华 申请(专利权)人: 浙江师范大学
主分类号: B01J20/04 分类号: B01J20/04;B01J20/28;B01J20/30;B01D53/28
代理公司: 杭州宇信知识产权代理事务所(普通合伙) 33231 代理人: 黄铁军
地址: 321004 *** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明涉及一种用于吸附HF气体中微量水分的CaF2材料及其制备方法,以Na3C6H5O7·2H2O为络合剂,Ca(CH3COO)2为钙源,NaBF4为氟源,通过水热法合成CaF2材料,Ca(CH3COO)2、Na3C6H5O7·2H2O、NaBF4的摩尔比为1:5:2。用该方法制得的CaF2材料热稳定性好并在超低水蒸气压下拥有优异的吸水性能,能有效地吸附HF气体中的微量水分制备HF高纯电子气体。
搜索关键词: 一种 用于 吸附 hf 气体 微量 水分 caf base sub
【主权项】:
1.一种用于吸附HF气体中微量水分的CaF2材料,其特征在于:以Na3C6H5O7·2H2O为络合剂,Ca(CH3COO)2为钙源,NaBF4为氟源,通过水热法合成该CaF2材料,Ca(CH3COO)2、Na3C6H5O7·2H2O、NaBF4的摩尔比为1:5:2。
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