[发明专利]晶片保持装置

摘要

本发明涉及一种用于接收在PECVD系统(51)中经受处理的晶片(201)的保持装置(1)，其中保持装置(1)具有接收晶片(201)的多个石墨接收板(2)，晶片(201)彼此隔开以形成间隙(3)。本文提出了，接收板(2)中的一个或多个为可使用电流恒温化的接收板，其中每一所述可使用电流恒温化的接收板具有第一和第二接触点(6、7)以承载通过所述可使用电流恒温化的接收板以对它们进行加热的电流。此外，本文还提出了，保持装置(1)具有外接收板(2a)和内接收板(2b)，其中每一内接收板(2b)设置于两个接收板(2)之间，并且其中仅内接收板(2b)为可使用电流恒温化的接收板(2b)。

主权项

1.一种用于接收在PECVD系统(51)中经受处理的晶片(201)的保持装置(1)，其中所述保持装置(1)具有用于接收所述晶片(201)的多个石墨接收板(2)，所述晶片(201)彼此隔开以形成间隙(3)，其中所述接收板(2)中的一个或多个为能使用电流恒温化的接收板，其中每一能使用电流恒温化的接收板具有承载通过所述能使用电流恒温化的接收板以对它们进行加热的电流的第一和第二接触点(6、7)，其中所述保持装置(1)具有外接收板(2a)和内接收板(2b)，其中每一内接收板(2b)设置在两个接收板(2)之间，并且其中仅所述内接收板(2b)为能使用电流恒温化的接收板(2b)。