[发明专利]感光性层叠体和其制造方法在审
| 申请号： | 201910342786.8 | 申请日： | 2019-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN110426917A | 公开（公告）日： | 2019-11-08 |
| 发明（设计）人： | 井上浩辅 | 申请（专利权）人： | 旭化成株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F7/11 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 感光性层叠体和其制造方法。[课题]本发明的目的在于提供不易受到异物影响的感光性层叠体。[解决方案]感光性层叠体的制造方法包括：第1层叠体形成工序，在基板上层叠感光性树脂层叠体，形成基板与感光性树脂层叠体的层叠体即第1层叠体，感光性树脂层叠体具备支撑薄膜(1)和形成于前述支撑薄膜(1)上的包含感光性树脂组合物的感光性树脂组合物层(6)；曝光工序，从前述第1层叠体剥离支撑薄膜(1)，将剥离了支撑薄膜(1)的感光性树脂组合物层(6)进行曝光，形成具有曝光部和未曝光部的感光性树脂组合物层；和，第2层叠体形成工序，在前述具有曝光部和未曝光部的感光性树脂组合物层(6)上层叠覆盖薄膜(2)，形成第2层叠体。 | ||
| 搜索关键词： | 层叠体 感光性树脂组合物层 感光性层叠体 支撑薄膜 感光性树脂层叠体 未曝光部 形成工序 曝光部 剥离 感光性树脂组合物 制造 覆盖薄膜 基板上层 曝光工序 异物 基板 上层 曝光 | ||
【主权项】：
1.一种感光性层叠体的制造方法，其包括如下工序：第1层叠体形成工序，在基板上层叠感光性树脂层叠体，形成所述基板与所述感光性树脂层叠体的层叠体即第1层叠体，所述感光性树脂层叠体具备支撑薄膜和形成于所述支撑薄膜上的包含感光性树脂组合物的感光性树脂组合物层；曝光工序，从所述第1层叠体剥离所述支撑薄膜，将剥离了所述支撑薄膜的感光性树脂组合物层进行曝光，形成具有曝光部和未曝光部的感光性树脂组合物层；和，第2层叠体形成工序，在所述具有曝光部和未曝光部的感光性树脂组合物层上层叠覆盖薄膜，形成第2层叠体。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于旭化成株式会社，未经旭化成株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910342786.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
