[发明专利]长晶炉内监测方法及长晶炉

摘要

本发明提供一种长晶炉内监测方法及长晶炉，该方法包括：接收影像设备在各窗口第一图像数据、第二图像数据和第三图像数据；第一图像数据为单晶硅棒的图像数据；第二图像数据为熔融多晶硅的图像数据；第三图像数据为坩埚的图像数据；接收尺寸测量设备在各窗口采集的尺寸数据；尺寸数据包括：单晶硅棒的直径数据；接收位移采集设备采集的拉晶线的位移数据；接收环境监测设备在各窗口采集的环境信息；根据第一图像数据、单晶硅棒的直径数据和位移数据生成单晶硅棒的三维图像；按照三维图像上的各坐标点与环境信息的映射关系，存放各坐标点对应的环境信息。可通过三维立体可视图像观测长晶炉内各个方位的情况，实现全面监测。

主权项

1.一种长晶炉内监测方法，单晶硅棒和拉晶线固定设置，熔融多晶硅置于坩埚内，其特征在于，长晶炉包括多个窗口；影像设备、尺寸测量设备、位移采集设备和环境监测设备集成在检测单元内；所述检测单元设置在轨道上；所述轨道固定设置在所述长晶炉的外壁上；所述检测单元通过所述轨道在各窗口之间移动；包括：接收所述影像设备在所述各窗口采集的炉内图像数据；所述炉内图像数据包括：第一图像数据、第二图像数据和第三图像数据；所述第一图像数据为单晶硅棒的图像数据；所述第二图像数据为熔融多晶硅的图像数据；所述第三图像数据为所述坩埚的图像数据；接收所述尺寸测量设备在所述各窗口采集的尺寸数据；所述尺寸数据包括：单晶硅棒的直径数据、长晶炉的直径数据和长晶炉的高度数据；接收所述位移采集设备采集的所述拉晶线的位移数据；接收所述环境监测设备在所述各窗口采集的环境信息；根据所述第一图像数据、所述单晶硅棒的直径数据和所述位移数据生成所述单晶硅棒的三维图像；按照所述三维图像上的各坐标点与所述环境信息的映射关系，存放所述各坐标点对应的所述环境信息。