[发明专利]基于硅基波导亚波长光栅和多模干涉原理的十字交叉波导有效
| 申请号： | 201910333223.2 | 申请日： | 2019-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN110031934B | 公开（公告）日： | 2020-07-14 |
| 发明（设计）人： | 付红岩;吴赛龙;穆鑫;魏子贤 | 申请（专利权）人： | 清华-伯克利深圳学院筹备办公室 |
| 主分类号： | G02B6/125 | 分类号： | G02B6/125;G02B6/124;G02B6/122;G02B6/12 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 518055 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于硅基波导亚波长光栅和多模干涉原理的十字交叉波导，该十字交叉波导设置于包层绝缘体上，其材质为硅，包括：四个单模波导、四个亚波长光栅以及中心交叉多模波导，其中，两个单模波导对称地设置于中心交叉多模波导的左右两侧，另两个单模波导对称地设置于中心交叉多模波导的前后两侧，两个单模波导的中心的连线与另两个单模波导的中心的连线垂直，中心交叉多模波导与四个单模波导之间均设置有亚波长光栅，亚波长光栅中的光栅条纹的排列方向与在对应的单模波导中传输的光波的传播方向相同。该十字交叉波导偏振不敏感，可以实现较小的尺寸以及更高的集成度，同时，加工难度和加工成本均较低。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 基波 波长 光栅 干涉 原理 十字 交叉 波导 | ||
【主权项】：
1.一种基于硅基波导亚波长光栅和多模干涉原理的十字交叉波导，其特征在于，所述十字交叉波导设置于包层绝缘体上，所述十字交叉波导的材质为硅，所述十字交叉波导包括：四个单模波导、四个亚波长光栅以及中心交叉多模波导；其中，两个单模波导对称地设置于所述中心交叉多模波导的左右两侧，另两个单模波导对称地设置于所述中心交叉多模波导的前后两侧，所述两个单模波导的中心的连线与所述另两个单模波导的中心的连线垂直；所述中心交叉多模波导与所述四个单模波导之间均设置有所述亚波长光栅，所述亚波长光栅中的光栅条纹的排列方向与在对应的单模波导中传输的光波的传播方向相同。
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