[发明专利]用于光纤陀螺高精度调制的Y波导芯片、器件及制作方法

摘要

本发明公开了一种用于光纤陀螺高精度调制的Y波导芯片、器件及制作方法，通过设计双电极结构实现不同的调制分度，第一电极的长度为第二电极的m倍，则第一电极产生的相位变化为第二电极的m倍，在双电极实现相同相位调制时，对第二电极加载的调制电压的幅值为对第一电极加载的m倍，因此，可以实现较大调制电压产生小相位调制的效果，解决由于增加DA转换器位数使得1LSB对应的量化电压变小的问题；通过对第一电极中第一焊盘和第二电极中第四焊盘加载调制电压信号，第一电极中第二焊盘与第二电极中第三焊盘接地，可以实现调制相位相长的状态；上述方案具有普适性，可根据光纤陀螺对反馈相位的精度需求调整双电极的长度比例关系。

主权项

1.一种用于光纤陀螺高精度调制的Y波导芯片，其特征在于，包括：基底、位于所述基底上的Y型分支波导以及位于所述Y型分支波导上沿所述Y型分支波导的中心轴方向排列的第一电极和第二电极；其中，所述第一电极沿所述Y型分支波导的中心轴方向的长度是所述第二电极沿所述Y型分支波导的中心轴方向的长度的m倍；其中，m为大于1的整数；所述第一电极包括同层设置的第一子电极、第二子电极、第三子电极、第一焊盘以及第二焊盘；其中，所述第一子电极、所述第二子电极、所述第三子电极、所述第一焊盘以及所述第二焊盘均为条状且均与所述Y型分支波导的两个支路相互平行；所述第一子电极位于所述Y型分支波导的两个支路之间，所述第二子电极和所述第三子电极分别位于所述两个支路的两侧，所述第一焊盘和第二焊盘均位于所述第二子电极远离所述Y型分支波导的一侧，所述第二子电极、所述第三子电极和所述第一焊盘电性连接且连接处靠近所述Y型分支波导的分支处，所述第一子电极与所述第二焊盘电性连接且连接处远离所述Y型分支波导的分支处；所述第二电极包括同层设置的第四子电极、第五子电极、第六子电极、第三焊盘以及第四焊盘；其中，所述第四子电极、所述第五子电极、所述第六子电极、所述第三焊盘以及所述第四焊盘均为条状且均与所述Y型分支波导的两个支路相互平行；所述第四子电极位于所述Y型分支波导的两个支路之间，所述第五子电极和所述第六子电极分别位于所述两个支路的两侧，所述第三焊盘和第四焊盘均位于所述第五子电极远离所述Y型分支波导的一侧，所述第四子电极与所述第三焊盘电性连接且连接处靠近所述第一电极，所述第五子电极、所述第六子电极和所述第四焊盘电性连接且连接处远离所述第一电极。