[发明专利]一种面向微纳结构加工的刀具及其制作方法

摘要

本发明属于微制造技术领域，尤其涉及一种面向微纳结构加工的刀具及其制作方法。面向微纳结构加工的刀具具有朝向工件的前刀面、与前刀面相对设置的背刀面以及位于前刀面与背刀面之间且沿面向微纳结构加工的刀具厚度方向布置并呈非平面设置的后刀面，前刀面与后刀面的相交处形成用于切削工件的刀刃，后刀面上开设有多个间隔设置的第一结构槽，第一结构槽的尺寸范围为微米级或纳米级；各第一结构槽的一端位于后刀面，各结构槽的另一端均贯穿至前刀面。本发明可以将面向微纳结构加工的刀具的第一结构槽的尺寸特征复制到工件表面，从而在工件表面快速加工出预定尺寸的微纳结构。

主权项

1.一种面向微纳结构加工的刀具，用于对工件表面进行加工，其特征在于，所述面向微纳结构加工的刀具具有朝向所述工件的前刀面、与所述前刀面相对设置的背刀面以及位于所述前刀面与所述背刀面之间的后刀面，所述后刀面沿所述面向微纳结构加工的刀具厚度方向布置并呈非平面设置，所述前刀面与所述后刀面的相交处形成用于切削所述工件的刀刃，所述后刀面上开设有多个间隔设置的第一结构槽，所述第一结构槽的尺寸范围为微米级或纳米级；各所述第一结构槽的一端位于所述后刀面，各所述结构槽的另一端均贯穿至所述前刀面。