[发明专利]一种基于相位解析的光学元件自动对心方法有效
申请号: | 201910304374.5 | 申请日: | 2019-04-16 |
公开(公告)号: | CN110045477B | 公开(公告)日: | 2020-11-03 |
发明(设计)人: | 胡小川;全海洋;徐富超;付韬韬;侯溪;李声 | 申请(专利权)人: | 中国科学院光电技术研究所 |
主分类号: | G02B7/00 | 分类号: | G02B7/00;G01N21/84;G01B11/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 610209 *** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于相位解析的光学元件自动对心方法,该方法包括以下步骤:1)初始化光学元件对心装置,将光学元件放置于检测平台;2)调节成像相机和检测平台,使成像区域覆盖光学元件边缘且成像清晰;3)旋转检测平台,使用成像相机采集光学元件表面数据;4)使用相位解析方法处理采集数据,根据解算结果调整待测光学元件与检测平台的相对位置,从而将光学元件中心与检测平台旋转中心对准,在此基础上通过迭代操作实现成像相机的位置修正,进而完成光学元件的自动对心。本发明通过相位解析方法,实现了光学元件的自动对心。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 相位 解析 光学 元件 自动 对心 方法 | ||
【主权项】:
1.一种基于相位解析的光学元件自动对心方法,其特征在于:采用相位解析方法,实现了光学元件的自动对心,其具体步骤是:步骤1:初始化光学元件对心装置,将光学元件放置于检测平台,所述光学元件为圆形对称光学元件;步骤2:使用线阵相机作为图像采集装置,调节相机和待测光学元件的相对位置,使成像区域覆盖光学元件边缘且成像清晰;步骤3:旋转检测平台并采集光学元件表面数据,当检测平台旋转一定角度后,即可采集到光学元件外圆周的环带图像;步骤4:以环带图像中光学元件边缘的成像数据作为待拟合信号,使用相位解析方法对所述待拟合信号进行数据拟合,所用拟合公式如下所示:f(t)=a+b·sin(c·t+d) (1)式中,f(t)表示环带图像中任意像素点在光学元件半径方向上的相对距离;t表示环带图像中对应于光学元件圆周上的任意像素点;a是平移量,a≥0,a与检测平台旋转中心和相机位置间的偏离量有关;b是振幅,表示检测平台旋转中心与待测光学元件中心的偏离;d是起始相位,‑π≤d≤π,表征检测平台旋转中心与待测光学元件中心的偏离方向;c为频率分量,当所述环带图像为检测平台旋转m周所采集到的图像时,有0≤c·t≤2mπ;步骤5:根据所述振幅b和所述起始相位d对应的偏离方向,调节待测光学元件中心和检测平台旋转中心的相对位置,从而将光学元件中心与检测平台旋转中心对准;步骤6:以垂直于线阵相机像素阵列的方向作为水平方向,将线阵相机在水平方向上的初始位置记为L0,随后在水平方向上将线阵相机移动一定距离,此时线阵相机在水平方向上的位置记为L1,在此基础上,重复步骤3到步骤4,采集光学元件外圆周的环带图像,并由公式(1)计算当前位置L1对应的平移量a1;步骤7:重复步骤6,通过多次移动线阵相机,每次移动后线阵相机在水平方向上的位置分别记为L1,L2……Ln,对应的平移量记为a1,a2……an,于是有:ai=f(Li),i=1,2,3......n (2)由此,通过多次迭代调整,可以得到a取极值时对应的线阵相机位置L,并以此作为线阵相机的最佳对准位置;由此实现一种基于相位解析的光学元件自动对心。
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