[发明专利]一种具有高载流子浓度和高电子迁移率的铝酸镧/钛酸锶异质结及其制备方法和应用有效

专利信息
申请号: 201910302421.2 申请日: 2019-04-16
公开(公告)号: CN110010676B 公开(公告)日: 2020-10-02
发明(设计)人: 胡海龙;岳建岭;黄小忠 申请(专利权)人: 中南大学
主分类号: H01L29/06 分类号: H01L29/06;H01L29/24;H01L21/363;H01L29/778
代理公司: 长沙市融智专利事务所(普通合伙) 43114 代理人: 张伟;魏娟
地址: 410083 湖南*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 发明公开了一种具有高载流子浓度和高电子迁移率的LaAlO3/SrTiO3异质结及其制备方法和应用。该LaAlO3/SrTiO3异质结以SrTiO3为衬底,通过激光分子束外延生长方法在SrTiO3衬底表面制备LaAlO3与SrTiO3交替呈现的量子阱结构外延层。制备的量子阱结构的LaAlO3/SrTiO3异质结具有高载流子浓度(≥1015cm‑2)、高迁移率(≧104cm2/Vs)等特点,有望能够取代常规的半导体材料满足晶体管和电子自旋器件等电子器件的使用要求。
搜索关键词: 一种 具有 载流子 浓度 电子 迁移率 铝酸镧 钛酸锶异质结 及其 制备 方法 应用
【主权项】:
1.一种具有高载流子浓度和高电子迁移率的LaAlO3/SrTiO3异质结,其特征在于:包括衬底及其表面的外延层;所述外延层具有LaAlO3与SrTiO3交替呈现的量子阱结构。
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