[发明专利]一种三维形貌测量仪

摘要

本发明公开了一种三维形貌测量仪，包括光学平台和设置于光学平台上的XY直线运动装置和设置有固定板的Z轴升降装置，XY直线运动装置用于带动样品放置单元在XY平面内做直线运动，Z轴升降装置用于带动三维形貌检测装置上下运动；样品放置单元包括由下至上依次设置的水平调整台、X/Y轴压电陶瓷和样品台；三维形貌检测装置包括与固定板连接的位置检测单元、激光发生单元和探测单元，激光发生单元发出的激光聚焦在探测单元中探测元件的背面，并从探测元件的背面反射到位置检测单元上；或者，三维形貌检测装置包括设置在固定板上的触针固定板和设置于触针固定板上的触针测量仪。本发明三维形貌测量仪结构简单，成本低，测量精度高。

主权项

1.一种三维形貌测量仪，包括光学平台和设置于所述光学平台上的XY直线运动装置和Z轴升降装置，其特征在于,还包括设置在所述XY直线运动装置上的样品放置单元和设置在所述Z轴升降装置上的固定板，所述固定板上设置有三维形貌检测装置，所述XY直线运动装置用于带动所述样品放置单元在XY平面内做直线运动，所述Z轴升降装置用于带动所述三维形貌检测装置上下运动；所述样品放置单元包括由下至上依次设置的水平调整台、X/Y轴压电陶瓷和样品台；所述三维形貌检测装置包括设置在所述固定板上的位置检测单元、激光发生单元和探测单元；所述激光发生单元发出的激光聚焦在所述探测单元中探测元件的背面，并从所述探测元件的背面反射到所述位置检测单元上；所述位置检测单元包括与所述固定板连接的第一连接板，所述第一连接板上设置有第一角度调整台，所述第一角度调整台上设置有位置检测器支板，所述位置检测器支板上设置有手动二维调整台，所述手动二维调整台上设置有位置检测器；所述激光发生单元包括与所述固定板连接的第二连接板，所述第二连接板上设置有第二角度调整台，所述第二角度调整台上设置有激光器支板，所述激光器支板上设置有激光器位置调整台，所述激光器位置调整台上设置有激光器；所述手动二维调整台包括第一滑台模块和第二滑台模块，所述第一滑台模块和所述第二滑台模块用于使所述位置检测器相对所述位置检测器支板作二维的调整移动；所述第一滑台模块和所述第二滑台模块均为燕尾滑台结构；所述燕尾滑台结构包括相互配合的燕尾滑块和燕尾导轨，所述燕尾导轨的端部设有固定座，所述固定座上设有用于调节所述燕尾滑块与所述燕尾导轨之间滑动行程的调节丝杠，所述调节丝杠与所述燕尾滑块螺纹配合；所述燕尾导轨上设有定位板，所述定位板上设有腰型孔，所述腰型孔的延伸方向与所述燕尾滑块的滑动方向一致，一紧固螺钉的一端穿过所述腰型孔并与所述燕尾滑块螺纹连接；所述第一滑台模块的所述燕尾导轨与所述位置检测器支板固定连接，所述第二滑台模块的所述燕尾导轨与所述第一滑台模块的所述燕尾滑块固定连接，所述第二滑台模块的所述燕尾滑块与所述位置检测器固定连接。