[发明专利]改善投影光路成像的方法及设备

摘要

本发明公开一种改善投影光路成像的方法及设备，投影光路中具有用于成像的投影光束，投影光束的传播方向上设置有整形组件，整形组件用于减小投影光束的直径尺寸，其中改善投影光路成像的方法包括：沿x方向调整整形组件的位置；获取投影光束透射整形组件的第一光能量值；确定第一光能量值的第一峰值对应整形组件的调整位置；沿x方向调整整形组件至第一峰值对应整形组件的调整位置；沿y方向调整整形组件的位置；获取投影光束透射整形组件的第二光能量值；确定第二光能量值的第二峰值对应整形组件的调整位置；沿y方向调整整形组件至第二峰值对应整形组件的调整位置。本发明技术方案能够有效提高投影光路中成像的图像清晰度。

主权项

1.一种改善投影光路成像的方法，其特征在于，所述投影光路中具有用于成像的投影光束，所述投影光束的传播方向上设置有整形组件，所述整形组件用于减小所述投影光束的直径尺寸，所述改善投影光路成像的方法包括：沿x方向调整所述整形组件的位置；获取所述投影光束透射所述整形组件的第一光能量值；确定所述第一光能量值的第一峰值对应所述整形组件的调整位置；沿x方向调整所述整形组件至所述第一峰值对应所述整形组件的调整位置；沿y方向调整所述整形组件的位置；获取所述投影光束透射所述整形组件的第二光能量值；确定所述第二光能量值的第二峰值对应所述整形组件的调整位置；沿y方向调整所述整形组件至所述第二峰值对应所述整形组件的调整位置；定义所述投影光束的出射方向为z方向，垂直于z方向为x方向，y方向同时垂直于x方向和z方向。