[发明专利]一种五自由度压电定位调姿机构及其激励方法

摘要

本发明提供的一种五自由度压电定位调姿机构及其激励方法，上侧驱动足、上侧双向层叠式弯曲型压电驱动器、绝缘块、层叠式扭转型压电驱动器、中间夹板、下侧双向层叠式弯曲型压电驱动器和下侧驱动足由上至下依次连接，动子与上侧驱动足的顶面接触，基座的上表面与下侧驱动足的下端接触，中间夹板与纵向导轨滑动连接，纵向导轨与横向导轨滑动连接且交叉布置，横向导轨与基座连接。本发明结构简单、激励方法可靠，可以获得大尺度和高精度的多自由度运动，在细胞操作、显微手术、光学调整以及超精密加工等领域具有广阔的应用前景，也会对精密压电驱动技术的发展产生一定的促进作用。

主权项

1.一种超精密五自由度压电定位调姿机构，其特征在于，包括：动子(1)、驱动单元(2)、纵向导轨(3)、横向导轨(4)以及基座(5)，其中，所述驱动单元(2)包括：上侧驱动足(2‑1)、上侧双向层叠式弯曲型压电驱动器(2‑2)、绝缘块(2‑3)、层叠式扭转型压电驱动器(2‑4)、中间夹板(2‑5)、下侧双向层叠式弯曲型压电驱动器(2‑6)以及下侧驱动足(2‑7)；所述上侧驱动足(2‑1)、上侧双向层叠式弯曲型压电驱动器(2‑2)、绝缘块(2‑3)、层叠式扭转型压电驱动器(2‑4)、中间夹板(2‑5)、下侧双向层叠式弯曲型压电驱动器(2‑6)和下侧驱动足(2‑7)由上至下依次连接，所述动子(1)与所述上侧驱动足(2‑1)的顶面接触，所述基座(5)的上表面与所述下侧驱动足(2‑7)的下端接触，所述中间夹板(2‑5)与所述纵向导轨(3)滑动连接，所述纵向导轨(3)与所述横向导轨(4)滑动连接且交叉布置，所述横向导轨(4)与所述基座(5)连接。