[发明专利]可延展柔性集成器件转印技术测试表征和转印自动化平台

摘要

本发明公开了一种可延展柔性集成器件转印技术测试表征和转印自动化平台，包含通用系统和专用系统两大部分，其中通用系统包括位移与对准系统、监测系统和控制系统，专用系统包括印章和驱动系统；其中，位移与对准系统用来实现印章‑元件‑基底的对准；监测系统包括力学和光学监测系统，力学监测系统用于监测测试或转印过程中印章与元件间作用力；光学监测系统用于实时观测测试或转印过程；驱动系统用于向印章施加载荷以调控印章与元件之间的粘附作用；控制系统用于控制位移与对准系统、监测系统及驱动系统。该平台可完成转印印章粘附测试表征实验，兼具自动化转印功能。

主权项

1.一种可延展柔性集成器件转印技术测试表征和转印自动化平台，其特征在于，包含通用系统和专用系统两大部分，其中通用系统包括位移与对准系统、监测系统和控制系统，专用系统包括印章和驱动系统；位移与对准系统包括标准阻尼隔振光学平台(16)和安装于该平台上的龙门架(1)，在标准阻尼隔振光学平台(16)上安装有x轴、y轴高精密电动平移台用于平面位置对准,在x轴、y轴高精密电动平移台上，从下至上依次安装有手动升降台(14)、精密电动旋转台(8)和二维倾斜台(13)，在龙门架(1)上安装有z轴高精密电动升降台(4)；监测系统包括光学监测系统和力学监测系统，光学监测系统用于实时观测测试或转印过程，力学监测系统主要由力传感器(12)组成，用于监测测试或转印过程中力学信号的变化；驱动系统用于向印章施加载荷以调控印章与元件之间的粘附作用；控制系统用于控制位移与对准系统、监测系统及驱动系统。