[发明专利]一种烘烤装置有效
| 申请号： | 201910274457.4 | 申请日： | 2019-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN110053369B | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 黄辉 | 申请（专利权）人： | TCL华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | B41J11/00 | 分类号： | B41J11/00 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种烘烤装置，其包括箱体，所述箱体内定义有烘烤腔，所述烘烤腔内设置有承载热台以及控温模块。其中所述控温模块在所述承载热台旁设有一加热位置，当所述承载热台承载待处理的基板并对其进行加热处理时，所述控温模块通过其自身的加热功能在所述加热位置进行加热，从而提升其周围空间的温度。本发明提供了一种烘烤装置，其在待处理的基板边缘的四角位置设置具有自身加热功能的控温模块，使其能够通过自身的加热功能对待处理基板的边缘进行温度补偿，减少其温度损伤，从而降低所述待处理基板的边角区域与其他区域间温度均匀性的差异性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 烘烤 装置 | ||
【主权项】：
1.一种烘烤装置，其特征在于，其包括箱体，所述箱体内定义有烘烤腔，所述烘烤腔内设置有承载热台以及控温模块；其中所述控温模块在所述承载热台旁设有一加热位置，当所述承载热台承载待处理的基板并对其进行加热处理时，所述控温模块通过其自身的加热功能在所述加热位置进行加热，从而提升其周围空间的温度。
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