[发明专利]一种纹影法焦斑动态范围的标定装置及方法有效
| 申请号： | 201910266590.5 | 申请日： | 2019-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN110044475B | 公开（公告）日： | 2023-05-26 |
| 发明（设计）人： | 李红光;段亚轩;袁索超;陈永权;王璞;李铭;达争尚;董晓娜 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01J1/42 | 分类号： | G01J1/42;G01M11/02 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 汪海艳 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： |
本发明属于焦斑动态范围标定领域，涉及一种纹影法焦斑动态范围的标定装置及方法，能够完成高功率激光远场焦斑的动态范围标定。标定装置包括激光光源及沿激光光源出射光路依次设置的准直物镜与一维正弦相位光栅；准直物镜将激光光源输出的激光扩束为直径为 |
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| 搜索关键词： | 一种 纹影法焦斑 动态 范围 标定 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种纹影法焦斑动态范围的标定装置，其特征在于：包括激光光源(11)及沿激光光源(11)出射光路依次设置的准直物镜(12)与一维正弦相位光栅(13)；所述准直物镜(12)将激光光源(11)输出的激光扩束为直径为![]()
的光斑；所述一维正弦相位光栅(13)对直径为![]()
的光斑进行调制后产生一系列不同衍射级次的光斑；在一系列不同衍射级次的光斑中，至少能够找到一个衍射级次的光斑，其峰值能量与0衍射级次光斑峰值能量的比值小于等于1:104。
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