[发明专利]基于弹性模板的微纳米热压印设备及其方法

摘要

本发明公开了一种基于弹性模板的微纳米热压印设备，涉及微纳米热压印相关技术领域，包括底板，所述底板的上表面中部设置有微波加热器，微波加热器的外侧设置有四个呈矩形分布的支撑板，支撑板的顶端固定连接有加热板。本发明通过限位板和活动片来限位弹性模板，使得模板发生损坏时可以随时更换新的模板。本发明还公开了一种基于弹性模板的微纳米热压印工艺，包括以下步骤：A：制备母版、B：制备弹性模板、C：涂布热可塑性材料薄膜、D：微纳米热压印、E：刻蚀。本发明不仅能保留微纳米热压印工艺所具备的低成本、能够加工高精度3D微结构方面的优势，又避免了该工艺在模板寿命、加工误差、良品率和生产效率等方面的不足。

主权项

1.一种基于弹性模板的微纳米热压印设备，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)的上表面中部设置有微波加热器(2)，所述微波加热器(2)的外侧设置有四个呈矩形分布的支撑板(3)，所述支撑板(3)的顶端固定连接有加热板(4)，所述底板(1)的上表面边缘固定连接有四个呈矩形设置的支撑柱(5)，所述支撑柱(5)的顶端固定连接有顶板(6)，所述顶板(6)的上表面中部固定连接有液压缸(7)，所述液压缸(7)的底部设置有推杆(8)，所述顶板(6)的下方设置有活动板(9)，所述活动板(9)的四角处均与支撑柱(5)贯穿连接，所述推杆(8)的底端与活动板(9)的上表面中部固定连接，所述活动板(9)的下方设置有弹性模板(10)，所述弹性模板(10)位于加热板(4)的正上方，所述弹性模板(10)的两侧均设置有限位板(11)，所述限位板(11)的顶端与活动板(9)贴合连接，且限位板(11)的顶端连接有活动片(12)，所述活动片(12)位于活动板(9)的上表面，所述活动板(9)的下表面中部固定连接有顶块(13)，所述顶块(13)与弹性模板(10)的上表面中部贴合连接，所述顶块(13)的两侧均设置有吸盘(14)，所述吸盘(14)固定安装在活动板(9)上，且吸盘(14)与弹性模板(10)贴合连接。