[发明专利]高功率磁控管用直热式阴极及其制备方法

摘要

本发明公开了一种高功率磁控管用直热式阴极及其制备方法，该制备方法包括如下步骤，将金属钨粉和氧化钍粉混合研磨得到钨钍合金粉末，钨钍合金粉末与1.5～3wt%的硝化棉溶液混合得到混合溶液，将混合溶液喷覆在钨丝阴极基底表面，置于红外灯下烘烤，得到表面有钨钍合金粉的钨丝阴极，然后放入高温氢气炉中烧结，再进行高温去污及碳化，即制备得到高功率磁控管用直热式阴极。本发明的高功率磁控管用直热式阴极能够提高磁控管用纯钨丝阴极的发射电流密度，降低纯钨丝阴极的工作温度及表面蒸发率，从而延长阴极及磁控管的寿命。

主权项

1.一种高功率磁控管用直热式阴极的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：a、将金属钨粉和氧化钍粉混合倒入玛瑙钵中研磨充分，得到均匀混合的钨钍合金粉末；b、将所述钨钍合金粉末与1.5～3wt%的硝化棉溶液均匀混合得到混合溶液，将所述混合溶液喷覆在钨丝阴极基底表面，置于红外灯下烘烤，得到表面有钨钍合金的钨丝阴极；c、将步骤b得到的表面有钨钍合金的钨丝阴极放入高温氢气炉中烧结，在2000±50℃下保温5～10分钟，即得到表面烧结了钨钍合金层的钨丝阴极；d、将表面烧结了钨钍合金层的钨丝阴极置于真空度优于10^‑4Pa的真空中，然后充入纯度为99.999%的H₂，在1800℃±50℃下，对表面烧结了钨钍合金层的钨丝阴极进行高温去污；e、高温去污完成之后，再次将真空度抽至优于10^‑4Pa，然后充入纯度为99.99%的苯蒸气，在电流为10～20A，表面烧结了钨钍合金层的钨丝阴极温度为1900±50℃的条件下进行碳化，碳化时间为30～100秒，即制备得到高功率磁控管用直热式阴极。