[发明专利]一种钴铁铌基靶材及其加工工艺在审
| 申请号： | 201910254292.4 | 申请日： | 2019-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN110004421A | 公开（公告）日： | 2019-07-12 |
| 发明（设计）人： | 黎品英;谢元鸣;梁莉丝 | 申请（专利权）人： | 柳州呈奥科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 广州凯东知识产权代理有限公司 44259 | 代理人： | 李勤辉 |
| 地址： | 545616 广西*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种钴铁铌基靶材及其加工工艺，该钴铁铌基靶材的加工工艺包括以下步骤：对元素K进行热处理，保持元素K温度在160‑180℃之间，随后取出降温后的元素K对其进行锻打形成靶材胚料，将靶材锻打形成靶材胚料靶材进行第二次热处理，热处理时间为1‑2.5h,最终形成第一靶材；对步骤一中第一靶材进行冷等静压作业，对其高温真空保护热处理；本发明所述的一种钴铁铌基靶材及其加工工艺，保证不同铝靶材之间晶粒大小的均一性，可以提高了生产效率，降低了生产成本，可以释放钴铁铌基靶材的应力、增加材料延展性和韧性、产生特殊显微结构，具有更好的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 靶材 钴铁 铌基 热处理 锻打 胚料 材料延展性 次热处理 高温真空 冷等静压 生产效率 显微结构 晶粒 均一性 铝靶材 生产成本 取出 释放 应用 保证 | ||
【主权项】：
1.一种钴铁铌基靶材，其特征在于，该钴铁铌基靶材含有合计40％原子，由钨、钼、钒、锆、钛、钇、锰、铝、铜、镍、磷、镓、锗、锡所组成的群组的一种或两种以上的元素K，剩余部分包含镁、碳、硼、铬、钙及不可避免的杂质的靶材。
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