[发明专利]一种MWT太阳能电池激光SE+碱抛光扩散工艺

摘要

本发明公开一种MWT太阳能电池激光SE+碱抛光扩散工艺，工序中后氧分为三个阶段进行处理，激光SE调整频率来增加脉宽匹配下降后的功率，以达到调整前同样的能量；本发明通过增加氧气流量、温度和时间使氧化层变厚，然后在激光工序通过调整激光功率和脉冲宽度使得激光对氧化层损伤最低还能兼顾同样的能量使得方阻下降值不变。

主权项

1. 一种MWT太阳能电池激光SE+碱抛光扩散工艺，其特征在于包括以下步骤：低温沉积‑升温‑高温沉积‑高温推进‑后氧 ‑激光SE‑去PSG‑碱抛光；所述后氧工序中分为三个阶段进行处理，所述三个阶段的工艺参数按如下执行：第一步后氧工序控制温度为780‑800℃，氧气流量900‑1100scccm，时间180‑220秒；第二步后氧工序控制温度为720‑750℃，氧气流量2300‑2600scccm，时间250‑350秒；第三步后氧工序控制温度为700‑750℃，氧气流量2800‑2900sccm，时间450‑550秒；所述激光SE工序中激光功率调整至25W‑28W，通过调整频率来增加脉宽匹配下降后的功率，以达到调整前同样的能量。