[发明专利]一种一体化结构的柔性温湿度传感器及其制备方法有效
申请号: | 201910241559.6 | 申请日: | 2019-03-27 |
公开(公告)号: | CN110006549B | 公开(公告)日: | 2021-07-06 |
发明(设计)人: | 黎威志;熊丽;刘杨;张天;高若尧;杜晓松;太惠玲 | 申请(专利权)人: | 电子科技大学 |
主分类号: | G01K7/18 | 分类号: | G01K7/18;G01N27/12 |
代理公司: | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人: | 李春霖 |
地址: | 611731 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明公开了一种一体化结构的柔性温湿度传感器,属于柔性传感器领域,包括柔性衬底,所述柔性衬底上设置有敏感单元,所述敏感单元包括温度敏感单元和湿度敏感单元,所述柔性衬底上还设置有微型电路芯片和供电单元,所述微型电路芯片用于处理来自敏感单元的信号,所述供电单元用于对微型电路芯片进行供电,一体化的设计,使得柔性温湿度传感器使用更加方便。 | ||
搜索关键词: | 一种 一体化 结构 柔性 温湿度 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种一体化结构的柔性温湿度传感器,包括柔性衬底(1),所述柔性衬底(1)上设置有敏感单元,所述敏感单元包括温度敏感单元(301)和湿度敏感单元(303),其特征在于:所述柔性衬底(1)上还设置有微型电路芯片(5)和供电单元(6),所述微型电路芯片(5)用于处理来自敏感单元的信号,所述供电单元(6)用于对微型电路芯片(5)进行供电。
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