[发明专利]在毫米波石英电路上实现通孔的方法在审
| 申请号： | 201910237404.5 | 申请日： | 2019-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN109951960A | 公开（公告）日： | 2019-06-28 |
| 发明（设计）人： | 胡海涛 | 申请（专利权）人： | 嘉兴腓特烈太赫科技有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/00 | 分类号： | H05K3/00 |
| 代理公司： | 石家庄轻拓知识产权代理事务所(普通合伙) 13128 | 代理人： | 王占华 |
| 地址： | 314001 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种在毫米波石英电路上实现通孔的方法，包括如下步骤：在所述毫米波石英电路需要打孔的位置的正面和背面进行标记；使用飞秒脉冲激光器同时对正面标记和背面标记进行作用，使在所述激光器作用下正反两面形成的盲孔贯穿，在需要打孔的位置形成通孔；或者，首先使用飞秒脉冲激光器对正面标记进行作用，在正面所述标记处形成一定深度的盲孔，然后，再使用飞秒脉冲激光器对被面标记进行作用，使毫米波石英电路背面在激光器作用下形成的盲孔与正面形成的盲孔贯通，形成所述通孔。所述方法提高了通孔的质量，方便后续的镀金工艺实现。 | ||
| 搜索关键词： | 毫米波 石英 盲孔 通孔 飞秒脉冲激光器 电路 背面 激光器作用 打孔 位置形成通孔 工艺实现 正反两面 标记处 再使用 被面 镀金 贯通 贯穿 | ||
【主权项】：
1.一种在毫米波石英电路上实现通孔的方法，其特征在于包括如下步骤：在所述毫米波石英电路（1）需要打孔的位置的正面和背面进行标记；使用飞秒脉冲激光器同时对正面标记和背面标记进行作用，使在所述激光器作用下正反两面形成的盲孔贯穿，在需要打孔的位置形成通孔（2）；或者，首先使用飞秒脉冲激光器对正面标记进行作用，在正面所述标记处形成一定深度的盲孔，然后，再使用飞秒脉冲激光器对被面标记进行作用，使毫米波石英电路背面在激光器作用下形成的盲孔与正面形成的盲孔贯通，形成所述通孔（2）；或者，首先使用飞秒脉冲激光器对正面标记进行作用，在正面所述标记处形成一定深度的盲孔，然后，翻转所述毫米波石英电路，使其背面朝上，再使用飞秒脉冲激光器对被面所述标记进行作用，使毫米波石英电路背面在激光器作用下形成的盲孔与正面形成的盲孔贯通，形成所述通孔（2）。
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