[发明专利]图像传感装置的制造方法

摘要

本发明公开了一种图像传感装置的制造方法，包括提供一基板，至少一个图像传感单元设置在基板中；在基板上形成一钝化层；在钝化层上形成一辅助层，辅助层的材料成分不同于钝化层的材料成分；对基板和钝化层执行退火工艺，在退火工艺期间，辅助层覆盖钝化层；在退火工艺之后去除辅助层。可通过利用覆盖钝化层的辅助层执行的退火工艺增强约束和/或钝化钝化层中和/或附近的自由电荷的能力，从而相应地减少白色像素的数量，进而相应地改善图像传感装置的电气性能。

主权项

1.一种图像传感装置的制造方法，包括：提供一基板，其中至少一个图像传感单元设置在所述基板中；在所述基板上形成一钝化层；在所述钝化层上形成一辅助层，其中所述辅助层的材料成分不同于所述钝化层的材料成分；对所述基板和所述钝化层执行退火工艺，其中在所述退火工艺期间，所述辅助层覆盖所述钝化层；以及在所述退火工艺之后去除所述辅助层。