[发明专利]异侧耦合式微腔芯片型激光自混合振动、位移、速度传感系统有效
| 申请号： | 201910233041.8 | 申请日： | 2016-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN109932050B | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | 吕亮;向荣;周俊峰;王德辉;俞本立;桂华侨;刘建国;王焕钦;赵云坤;涂郭结;朱军 | 申请（专利权）人： | 安徽大学 |
| 主分类号： | G01H9/00 | 分类号： | G01H9/00;G01B11/02;G01B9/00;G01P3/36;H01S3/08 |
| 代理公司： | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 王闯;葛莉华 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市经*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本分案申请涉及激光自混合传感技术领域，现有的激光自混合振动、位移、速度传感系统难以实现高精度、高探测灵敏度的传感测量且结构难以做到真正意义的微型化，无法与现代通讯系统的芯片做到很好的集成，无法大规模集成开发和应用。针对上述问题，本分案申请提供一种异侧耦合式微腔芯片型激光自混合振动、位移、速度传感系统，该系统基于激光自混合干涉测量原理，利用光学微腔构建激光自混合传感系统，实现了高精度，高灵敏度的传感测量，同时因系统具有微型化的优点，更加适合于大规模芯片制造加工，更加适合于狭小场合、复杂环境下的现场测量，并且能够与目前光纤通讯中的商用系统充分结合，低成本，高效地实现远程及特殊应用场合传感及数据处理。 | ||
| 搜索关键词： | 耦合 式微 芯片 激光 混合 振动 位移 速度 传感 系统 | ||
【主权项】：
1.一种微腔芯片型激光自混合振动、位移、速度传感系统，其特征在于：包括泵浦光源(1)、第一波分复用器(2)、2个耦合器件(3)、光学微腔(4)、第二波分复用器(5)、光环形器(6)和光电探测器(8)；所述泵浦光源(1)的输出端和第一波分复用器(2)的输入端通过其中一个耦合器件(3)与光学微腔(4)的一侧耦合；所述第一波分复用器(2)的第一输出端与光环形器(6)的第一端口相连；所述光环形器(6)的第二端口出射信号光到待测目标并接收由待测目标反馈的信号光；所述光环形器(6)的第三端口和第二波分复用器(5)的输入端通过另一个耦合器件(3)与光学微腔(4)的另一侧耦合；所述第二波分复用器(5)的第一输出端与光电探测器(8)的输入端相连。
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