[发明专利]基于自补偿式平移轴的长干涉光腔调谐装置和方法

摘要

本发明提供了一种基于自补偿式平移轴的长干涉光腔调谐装置和方法，所述装置包括：激光器；安装于精密导轨上的滑台，滑台可沿预设光路在第一和第二干涉光腔腔镜之间移动；设置于滑台上的第一和第二平移轴干涉测量模块，每个平移轴干涉测量模块包括依次排布于预设光路上的第一准直小孔、分光棱镜、第二准直小孔以及设置于分光棱镜两侧且位于干涉光路上的第一和第二干涉测量模块腔镜，其中，第一和第二平移轴干涉测量模块的干涉光路相互垂直；成像透镜，用于对第一和第二平移轴干涉测量模块的干涉图像进行成像；图像传感器，用于输出干涉图像的数字图像；计算机，用于处理数字图像，并根据处理结果反馈自补偿多轴精密调节策略。

主权项

1.一种基于自补偿式平移轴的长干涉光腔调谐装置，其特征在于，包括：激光器，所述激光器作为发射激光的光源；安装于精密导轨上的滑台，所述滑台可沿预设光路在第一干涉光腔腔镜和第二干涉光腔腔镜之间移动；设置于所述滑台上的第一平移轴干涉测量模块和第二平移轴干涉测量模块，每个平移轴干涉测量模块包括依次排布于预设光路上的第一准直小孔、分光棱镜、第二准直小孔以及设置于所述分光棱镜两侧且位于干涉光路上的第一干涉测量模块腔镜和第二干涉测量模块腔镜，其中，所述第一平移轴干涉测量模块和第二平移轴干涉测量模块的干涉光路相互垂直；成像透镜，所述成像透镜用于对所述第一平移轴干涉测量模块和所述第二平移轴干涉测量模块的干涉图像进行成像；图像传感器，所述图像传感器用于输出所述干涉图像的数字图像；计算机，所述计算机分别与所述图像传感器、所述第一平移轴干涉测量模块和第二平移轴干涉测量模块相连，所述计算机用于处理所述数字图像，并根据处理结果向所述第一平移轴干涉测量模块和第二平移轴干涉测量模块反馈自补偿多轴精密调节策略。