[发明专利]一种平面直线位移驱动装置及其控制方法有效
| 申请号： | 201910227468.7 | 申请日： | 2019-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN109940566B | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 李全超;姚东;徐钰蕾;谭淞年 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | B25H1/00 | 分类号： | B25H1/00;B25H1/14 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 罗满 |
| 地址： | 130033 吉林省长春市*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明公开一种平面直线位移驱动装置，包括支撑组件、设置于所述支撑组件上的大行程驱动机构、与所述大行程驱动机构的输出端相连的微位移驱动机构、与所述微位移驱动机构的输出端相连的载物台；所述微位移驱动机构为压电陶瓷驱动器，所述大行程驱动机构包括扭矩输出器、与所述扭矩输出器的输出端相连并用于将其旋转运动转换为直线运动的传动组件，且所述传动组件和所述压电陶瓷驱动器的运动方向均为所述载物台的轴向。本发明能够同时满足高精密工程的生产制造过程中对于工件位移的大行程和高精度位移控制要求，提高加工效率和加工精度。本发明还公开一种平面直线位移驱动装置的控制方法，其有益效果如上所述。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平面 直线 位移 驱动 装置 及其 控制 方法 | ||
【主权项】：
1.一种平面直线位移驱动装置，其特征在于，包括支撑组件(1)、设置于所述支撑组件(1)上的大行程驱动机构(2)、与所述大行程驱动机构(2)的输出端相连的微位移驱动机构(3)、与所述微位移驱动机构(3)的输出端相连的载物台(4)；所述微位移驱动机构(3)为压电陶瓷驱动器，所述大行程驱动机构(2)包括扭矩输出器(201)、与所述扭矩输出器(201)的输出端相连并用于将其旋转运动转换为直线运动的传动组件(202)，且所述传动组件(202)和所述压电陶瓷驱动器的运动方向均为所述载物台(4)的轴向。
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