[发明专利]一种适用于激光器放电腔的钝化方法和钝化装置在审
| 申请号： | 201910227285.5 | 申请日： | 2019-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN109888599A | 公开（公告）日： | 2019-06-14 |
| 发明（设计）人： | 沙鹏飞;杨军红;熊光亮;贺跃坡;韩晓泉;宋兴亮;陈刚;冯泽斌;丁金滨;刘斌;辛茗 | 申请（专利权）人： | 北京科益虹源光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01S3/03 | 分类号： | H01S3/03;H01S3/036 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 曹卫良 |
| 地址： | 100000 北京市大兴区经济*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种适用于准分子激光器放电腔的钝化方法及装置。该方法包括：S1，将放电腔的温度升至第一温度，并维持该第一温度以对放电腔进行烘烤；S2，对放电腔进行抽真空以使得放电腔内的杂质气体被排出；S3，向放电腔内充入钝化气体以对放电腔进行初步钝化；S4，初步钝化结束后停止烘烤，并向放电腔内充入工作气体进行放电钝化。该方法具有能够定量评价钝化过程、避免放电腔材料放气对激光器性能造成的恶劣影响以及降低钝化成本的优点。钝化装置包括：真空烘烤箱、显控单元、真空泵、气体供给单元、气体分析仪和卤素过滤器，待钝化的放电腔置于该真空烘烤箱中，该装置结构简单，使用的设备都是常见的实验设备，容易实现且操作简单。 | ||
| 搜索关键词： | 放电腔 钝化 钝化装置 真空烘烤 烘烤 激光器放电腔 气体供给单元 准分子激光器 气体分析仪 过滤器 材料放气 定量评价 钝化过程 钝化气体 恶劣影响 工作气体 实验设备 显控单元 杂质气体 装置结构 激光器 抽真空 真空泵 放电 排出 箱中 | ||
【主权项】：
1.一种适用于激光器放电腔的钝化方法，其特征在于，包括以下步骤：S1，将所述放电腔的温度升至第一温度，并维持所述第一温度以对所述放电腔进行烘烤；S2，对所述放电腔进行抽真空以使得所述放电腔内的杂质气体被排出；S3，向所述放电腔内充入钝化气体以对所述放电腔进行初步钝化；S4，初步钝化结束后停止烘烤，并向所述放电腔内充入工作气体进行放电钝化。
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