[发明专利]一种全固态柔性低压有机场效应晶体管及其制备方法

摘要

本发明提供了一种全固态柔性低压有机场效应晶体管，包括：纤维素纳米纸，作为绝缘层；栅极，设置在纤维素纳米纸的下表面；有机半导体层，设置在纤维素纳米纸的上表面；源电极，设置在有机半导体层的上表面；以及漏电极，设置在有机半导体层的上表面。本发明还提供了一种上述全固态柔性低压有机场效应晶体管的制备方法，包括以下步骤：步骤1‑1，在纤维素纳米纸的下表面通过掩模板法蒸镀Au电极作为栅极；步骤1‑2，在纤维素纳米纸的上表面蒸镀或者旋涂有机半导体作为沟道材料，得到有机半导体层；步骤1‑3，在有机半导体层上表面，通过掩模板法蒸镀Au电极作为源电极与漏电极，其中，纤维素纳米纸由纤维素经过2,2,6,6‑四甲基哌啶氧化物(TEMPO)氧化法制备获得。

主权项

1.一种全固态柔性低压有机场效应晶体管，其特征在于，包括：纤维素纳米纸，作为绝缘层；栅极，设置在所述纤维素纳米纸的下表面；有机半导体层，设置在所述纤维素纳米纸的上表面；源电极，设置在所述有机半导体层的上表面；以及漏电极，设置在所述有机半导体层的上表面，其中，所述纤维素纳米纸的厚度为10～100μm，所述纤维素纳米纸的表面粗糙度为1nm，所述纤维素纳米纸具有固有的离子导电特性、高透明度及柔性。