[发明专利]一种气浮垫结构在审
| 申请号： | 201910222059.8 | 申请日： | 2019-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN111720440A | 公开（公告）日： | 2020-09-29 |
| 发明（设计）人： | 刘屈武 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | F16C32/06 | 分类号： | F16C32/06 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种气浮垫结构，包括气浮垫本体，气浮垫本体包括出气面、与出气面对应的非出气面以及连接出气面和非出气面的多个侧面；至少一个侧面设置有气体入口；出气面设置有多个第一出气单元；第一出气单元至少包括第一节流孔、第一均压槽、第一凸台和第二均压槽；第一均压槽环绕第一节流孔设置；第一凸台环绕第一均压槽设置；第二均压槽环绕第一凸台设置。采用上述技术方案，通过设置第一凸台环绕第一均压槽，保证通过第一凸台阻挡气流在流动过程中湍流的充分发展，降低涡流，从而减少气浮垫压力波动，改善气振情况；同时，设置第二均压槽环绕第一凸台，保证气浮垫结构具备更大的峰值刚度和更大的峰值承载力，提升气浮垫结构的承载能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 气浮垫 结构 | ||
【主权项】：
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