[发明专利]一种增压雾化喷淋装置、抛光装置及抛光方法在审
| 申请号： | 201910214766.2 | 申请日： | 2019-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN110039405A | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 潘继生;邓家云;罗斌;阎秋生 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | B24B13/00 | 分类号： | B24B13/00;B24B37/00;B24B37/34;B24B53/017;B24B57/02 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 林丽明 |
| 地址： | 510006 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及精密加工装置的技术领域，更具体地，涉及一种增压雾化喷淋装置、抛光装置及抛光方法，包括用于供应有压气体和浆液的气液供应组件、用于实现浆液增压和浆液雾化的浆液雾化组件以及喷洒角度可调的浆液喷洒组件，所述气液供应组件连通于所述浆液雾化组件的一端，所述浆液喷洒组件设置于浆液雾化组件的另一端。本发明的增压雾化喷淋装置，实现浆液流动的高速高压，解决了浆液的不均匀性、分散性差、浪费浆液等问题，使得浆液成分分散均匀，节约加工成本；本发明的抛光装置和抛光方法，使抛光浆液均匀喷淋在工件表面及抛光盘面上，从而实现对工件的超精密加工，且可通过调节蠕动泵转速和气源压力以满足不同抛光工件加工所需的参数。 | ||
| 搜索关键词： | 浆液雾化 抛光 增压 雾化喷淋装置 抛光装置 供应组件 喷洒组件 气液 精密加工装置 超精密加工 不均匀性 成分分散 高速高压 工件表面 角度可调 抛光工件 抛光浆液 有压气体 分散性 蠕动泵 源压力 盘面 喷淋 连通 喷洒 加工 节约 流动 | ||
【主权项】：
1.一种增压雾化喷淋装置，其特征在于，包括用于供应有压气体和浆液的气液供应组件(1)、用于实现浆液增压和浆液雾化的浆液雾化组件(2)以及喷洒角度可调的浆液喷洒组件(3)，所述气液供应组件(1)连通于所述浆液雾化组件(2)的一端，所述浆液喷洒组件(3)设置于浆液雾化组件(2)的另一端。
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