[发明专利]基于双轴谐振式MEMS微镜的扫描控制系统及控制方法在审
| 申请号： | 201910209082.3 | 申请日： | 2019-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN111722238A | 公开（公告）日： | 2020-09-29 |
| 发明（设计）人： | 武瑾娟;李帆雅;沈文江;崔亚春 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | G01S17/08 | 分类号： | G01S17/08;G01S7/484;G01S7/481;G02B26/10 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰;贾珍珠 |
| 地址： | 215123 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了基于双轴谐振式MEMS微镜的扫描控制系统及控制方法，MEMS微镜为一双轴谐振MEMS微镜或由两个单轴MEMS微镜组成，可在第一驱动信号的驱动下绕第一转轴旋转，并同时在第二驱动信号的驱动下绕第二转轴旋转，第一转轴与第二转轴垂直，MEMS微镜绕第一转轴和第二转轴的谐振频率接近，控制方法包括：调节第一驱动信号的主驱动频率，使绕第一转轴旋转的工作频率实时与其谐振频率一致；调节第二驱动信号的从驱动频率，使从驱动频率实时与主驱动频率一致；实时调节第二驱动信号的相位，使绕第一转轴旋转和绕第二转轴旋转时的反馈信号的相位差始终为π/2；改变绕第二转轴旋转的驱动幅值，形成面扫描。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 谐振 mems 扫描 控制系统 控制 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所，未经中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910209082.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：建筑物自适应应急处理方法及存储介质
- 下一篇：一种注塑机温度控制装置
