[发明专利]用于钨字线凹进的蚀刻溶液在审
| 申请号： | 201910203116.8 | 申请日： | 2019-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN110272742A | 公开（公告）日： | 2019-09-24 |
| 发明（设计）人： | 葛智逵;李翊嘉;刘文达 | 申请（专利权）人： | 弗萨姆材料美国有限责任公司 |
| 主分类号： | C09K13/06 | 分类号： | C09K13/06;C09K13/08;H01L21/3213 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 吴亦华;徐志明 |
| 地址： | 美国亚*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本文描述了一种适用于含钨金属和含TiN材料两者的蚀刻溶液，其包含：水；和一种或多于一种氧化剂；和选自以下的组分中的一种或多于一种：一种或多种含氟蚀刻化合物、一种或多种有机溶剂、一种或多种螯合剂、一种或多种腐蚀抑制剂和一种或多种表面活性剂。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻溶液 氧化剂 表面活性剂 腐蚀抑制剂 蚀刻化合物 含钨金属 有机溶剂 凹进的 螯合剂 含氟 字线 | ||
【主权项】：
1.一种适用于含钨金属和含TiN材料两者的蚀刻溶液，所述蚀刻溶液包含：水；一种或多于一种氧化剂；选自以下的组分中的一种或多种：一种或多种含氟蚀刻化合物、一种或多种有机溶剂、一种或多种螯合剂、一种或多种腐蚀抑制剂和一种或多种表面活性剂。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于弗萨姆材料美国有限责任公司，未经弗萨姆材料美国有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910203116.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
