[发明专利]一种激光位移传感器及其测量方法

摘要

本发明公开了一种激光位移传感器及其测量方法。该传感器包括准直激光器、光阑、胶合镜、第一柱面镜、待测物体、凸透镜、四象限探测器，所述胶合镜由两个直角棱镜和一块柱面镜胶合而成，其中第一、第二直角棱镜的最长面粘接在一起形成一个分光棱镜，该分光棱镜的出光面与柱面镜的平面相粘接。方法为：准直激光器发出的激光从光阑射出后进入胶合镜，胶合镜镀有单向透过膜使得光线入射至第一柱面镜，经第一柱面镜出射至待测物体上；反射光线沿原光路返回至胶合镜，并被胶合镜反射到凸透镜，经过凸透镜的聚焦作用，在四象限探测器上以能量强弱的形式输出电信号，从而得到与电信号一一对应的距离。本发明具有信号传递快，精度高，非接触式测量等优点。

主权项

1.一种激光位移传感器，其特征在于，包括准直激光器(1)、光阑(2)、胶合镜(3)、第一柱面镜(4)、待测物体(5)、凸透镜(6)、四象限探测器(7)：所述准直激光器(1)发出的激光从光阑(2)射出后进入胶合镜(3)，胶合镜(3)镀有单向透过膜使得光线入射至第一柱面镜(4)，经第一柱面镜(4)出射至待测物体(5)上；待测物体(5)将光反射后，反射光线沿原光路返回至胶合镜(3)，并被胶合镜(3)反射到凸透镜(6)，经过凸透镜(6)的聚焦作用，在四象限探测器(7)上以能量强弱的形式输出电信号，从而得到与电信号一一对应的距离。