[发明专利]一种低噪声高效率深紫外连续激光器有效
| 申请号： | 201910198919.9 | 申请日： | 2019-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN109768464B | 公开（公告）日： | 2023-06-20 |
| 发明（设计）人： | 张子越;韩海年;邵晓东;魏志义 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | H01S3/109 | 分类号： | H01S3/109;H01S3/107;H01S3/13 |
| 代理公司： | 北京中创博腾知识产权代理事务所(普通合伙) 11636 | 代理人： | 李梅 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种高输出耦合效率连续激光系统，包括：连续激光产生装置，电光调制器装置，模式匹配装置，第一输入耦合镜，第二高反射率腔镜，第一凹面反射镜装置，倍频晶体，双色镜，第二凹面反射镜。本发明的高耦合效率的腔内倍频167nm连续激光产生，具有腔内损耗低，腔内基频功率增强倍数高，非线性转化效率高，输出耦合效率高的特点，结构简单，可靠性高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 噪声 高效率 深紫 连续 激光器 | ||
【主权项】：
1.一种连续激光系统，其特征在于，所述连续激光系统包括：连续激光产生装置，用于输出连续基频激光；电光调制器装置，用于调制连续基频光的频率和相位，产生调制边带；模式匹配装置，用于调整基频激光的光斑束腰位置及束腰大小；第一输入耦合镜，用于将基频光耦合进倍频增强腔，其反射率优选为80％‑99.9999％；第二高反射率腔镜，用于折叠腔镜，同时用于装载压电陶瓷，以锁定腔长；第一凹面反射镜，用于将基频光聚焦到倍频晶体上；第二凹面反射镜，用于准直基频光；倍频晶体，用于产生非线性效应，将基频光转化为倍频光；和双色镜，用于透过基频光，同时反射倍频连续激光，将倍频激光高效率的耦合输出；优选地，所述连续激光系统为腔内倍频产生165～170nm、进一步优选为167～168nm、最优选为167.75nm的连续激光的系统。
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