[发明专利]一种偏振测量装置及偏振测量方法有效
| 申请号： | 201910194291.5 | 申请日： | 2019-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN109883553B | 公开（公告）日： | 2020-01-21 |
| 发明（设计）人： | 李仲禹;王政;陈旻峰 | 申请（专利权）人： | 上海精测半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G01J4/00 | 分类号： | G01J4/00 |
| 代理公司： | 11332 北京品源专利代理有限公司 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201703 上海市青浦区赵巷*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种偏振测量装置及偏振测量方法，所述偏振测量装置包括沿光路依次设置的光束出射单元、测量镜组和光束测量单元；所述光束出射单元用于出射偏振入射光束；所述测量镜组包括相对设置的管镜和物镜，所述偏振入射光束依次经过所述管镜和所述物镜投射到被测量面上，且所述被测量面反射的偏振反射光束依次经过所述物镜和所述管镜传播；所述光束测量单元用于接收由所述管镜出射的所述偏振反射光束。采用上述技术方案，可以对被测量面的特性进行检测；同时偏振测量装置结构简单，横向尺寸小，利于集成调校。 | ||
| 搜索关键词： | 偏振测量 出射 管镜 物镜 光束测量单元 偏振反射光束 入射光束 测量镜 偏振 测量 相对设置 依次设置 装置结构 测量面 调校 光路 投射 反射 检测 传播 | ||
【主权项】：
1.一种偏振测量装置，其特征在于，包括沿光路依次设置的光束出射单元、测量镜组和光束测量单元；/n所述光束出射单元用于出射偏振入射光束，其中，所述偏振入射光束包括发散偏振入射光束；/n所述测量镜组包括相对设置的管镜和物镜，所述发散偏振入射光束在会聚点会聚后发散进入所述管镜，所述会聚点位于所述管镜的焦平面位置；被测量面位于所述物镜的焦平面位置；所述发散偏振入射光束依次经过所述管镜和所述物镜投射到所述被测量面上，且所述被测量面反射的发散偏振反射光束依次经过所述物镜和所述管镜传播；/n所述光束测量单元用于接收由所述管镜出射的所述偏振反射光束。/n
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