[发明专利]一种双振子驱动的自激泵

摘要

本发明属于微流体传输与控制领域，具体涉及一种双振子驱动的自激泵。泵体内装有传感器，泵体的上下进口阀腔和上下出口阀腔与其内所粘接的碟形阀分别构成上下进口阀和上下出口阀，碟形阀由压环、阀片和阀座粘接而成；泵体上下两侧都装有泵盖，泵盖经密封圈将上下腔振子分别压接在泵体的上下体腔内，上腔振子和下腔振子都由基板和压电片粘接而成，传感器和上下腔振子经不同导线组与电源相连；上下腔振子、密封圈、上下进口阀及上下出口阀构成串联的上下泵腔；电源输出直流电压信号，流体压力达到极值时电源输出电压和上下腔振子变形方向换向。优势：根据泵腔流体压力变化状态自动形成激励频率，阀的效率高，输出能力和控制精度高。

主权项

1.一种双振子驱动的自激泵，其特征在于：泵体上设有进出口和上下体腔，上体腔的底壁上设有上进口阀腔和上出口阀腔，下体腔的顶壁上设有下进口阀腔和下出口阀腔，上体腔的底壁或下体腔的顶壁上设有传感器腔；上进口阀腔与进口连通，上出口阀腔与下进口阀腔连通，下出口阀腔与出口连通；传感器腔内装有传感器；上下进口阀腔与其内所粘接的碟形阀分别构成上下进口阀，上下出口阀腔与其内所粘接的碟形阀分别构成上下出口阀；碟形阀由压环、阀片和阀座粘接而成，阀片由盖片、环片以及至少三条连接盖片与环片的螺旋片构成，环片两侧分别与压环和阀座粘接；阀片粘接前的自然状态下，螺旋片向环片的一侧预弯，粘接后盖片堵在阀座的阀孔上；泵体上下两侧都装有泵盖，泵盖的凸台将上腔振子和下腔振子分别压接在上体腔和下体腔内，上下腔振子的上下两侧均压接有密封圈；上下腔振子都由基板和压电片粘接而成，上下腔振子中的压电片极化方向相反且压电片都靠近泵盖安装；传感器与上下腔振子经不同导线组与电源连接；泵体、上腔振子、传感器、密封圈、上进口阀及上出口阀构成上泵腔，泵体、下腔振子、密封圈、下进口阀及下出口阀构成下泵腔，上泵腔与下泵腔串联；电源输出给上下腔振子相同的直流电压，利用传感器生成的电压信号判断上下泵腔内流体压力变化状态，流体压力达到极值时电源输出电压换向，上下腔振子变形方向换向，电源输出正负电压的连续交替变化即形成了上下腔振子的往复弯曲振动和流体的单向流动。