[发明专利]一种光控集成片上电感在审
| 申请号： | 201910178381.5 | 申请日： | 2019-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN109786080A | 公开（公告）日： | 2019-05-21 |
| 发明（设计）人： | 唐莹;王玉龙;韦一;彭应全;柏沁园;杨媚 | 申请（专利权）人： | 中国计量大学 |
| 主分类号： | H01F27/28 | 分类号： | H01F27/28;H01F27/32;H01F27/34;H01F29/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本专利提出了一种光控集成片上电感，属于微电子器件技术领域。其光控电感结构包括光磁材料，金属导线，二氧化硅隔离层以及硅基衬底。光磁材料线圈层为光控片上电感的主体部分，依附于衬底上，光磁材料感应光照变化，通过自身磁导率的变化来引起线圈整体磁导率发生改变，从而改变电感值。在电感线圈与衬底之间添加了一层二氧化硅绝缘层，用来隔绝衬底的涡流损耗，另外金属导线采用高导电性能材料，减少金属本身的欧姆损耗，这对电感的品质因数的提高有着很大的帮助，同时使电路的整体性能得到了提高。 | ||
| 搜索关键词： | 电感 光磁材料 衬底 光控 金属导线 磁导率 集成片 二氧化硅隔离层 二氧化硅绝缘层 高导电性能 微电子器件 电感结构 电感线圈 光照变化 欧姆损耗 品质因数 涡流损耗 线圈整体 光控片 硅基衬 线圈层 依附 电路 金属 帮助 | ||
【主权项】：
1.一种光控集成片上电感，其特征在于：采用光磁材料复合膜作为电感线圈材料：所述光磁材料复合膜由光磁材料层和金属导电层依次叠加组成，光控电感依附于衬底之上，在衬底与线圈之间添加绝缘层进行隔离。
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