[发明专利]一种观察透明晶片指定区域微观形貌的快速定位方法在审
申请号: | 201910168455.7 | 申请日: | 2019-03-06 |
公开(公告)号: | CN109799242A | 公开(公告)日: | 2019-05-24 |
发明(设计)人: | 杨丹丹;李晖;张弛;高飞;孙雪莲;程红娟;郝建民;赖占平;李宝珠 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第四十六研究所 |
主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88;G01N21/95;G01N21/958;G01N21/84 |
代理公司: | 天津中环专利商标代理有限公司 12105 | 代理人: | 王凤英 |
地址: | 300220*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本发明公开了一种观察透明晶片指定区域微观形貌的快速定位方法。该方法分两种:1、对已知微观形貌的透明晶片特定区域进行定位,并对该位置进行其他研究;2、已知定位坐标,观察透明晶片指定区域微观形貌。该方法所设计的坐标物是由横线、竖线交叉构成的方格,在方格里填写位置编码,方格边长尺寸根据所需观察区域或显微镜观察区域设定;坐标物材质采用打印纸或采用能够定型加工、刻录标识的其它材料制作的承载物。该方法具有通用性,新研发的坐标物可在显微镜下使用,显微镜下观察的位置通过坐标物计算出几何坐标来实现精准定位,减少了工作时间和不必要的工作量,避免了在样品表面标记带来损伤和沾污,对于科研的非标产品更具显著的实用性。 | ||
搜索关键词: | 透明晶片 微观形貌 快速定位 观察 显微镜 方格 显微镜观察 定位坐标 方格边长 非标产品 观察区域 几何坐标 精准定位 区域设定 填写位置 位置通过 样品表面 横线 承载物 打印纸 刻录 竖线 研发 沾污 定型 工作量 损伤 加工 科研 研究 | ||
【主权项】:
1.一种观察透明晶片指定区域微观形貌的快速定位方法,其特征在于,该方法包括两种情况,第一种情况:对已知微观形貌的透明晶片特定区域进行定位,并对该位置进行其他研究;第二种情况:已知定位坐标,观察透明晶片指定区域微观形貌;第一种情况有以下步骤:步骤一,根据被测样品区域大小选取适合的坐标物;步骤二,制作坐标物;步骤三,将样品放置在坐标物上;步骤四,将承载样品的坐标物放置在显微镜载物台上;步骤五,显微镜下观察被测区域;步骤六,确定被测区域对应坐标物上的位置,并记录位置编码;步骤七,根据位置编码计算微观观察区域定位坐标;步骤八,选择其它性能测试仪器对该坐标进行测试表征;第二种情况有以下步骤:步骤一,根据被测样品区域大小选取适合的坐标物;步骤二,制作坐标物;步骤三,将样品放置在坐标物上;步骤四,将承载样品的坐标物放置在显微镜载物台上;步骤五,根据定位坐标确定被测区域对应坐标物上的位置编码;步骤六,显微镜下按已确认的位置编码定位观察被测区域;步骤七,采集微观形貌图片信息;所述的坐标物是由横线a、竖线b交叉构成的方格,在方格里填写位置编码d,方格边长为c,方格边长c尺寸根据所需观察区域或显微镜观察区域设定;所述的坐标物材质采用打印纸或采用能够定型加工、刻录标识的其它材料制作的承载物。
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