[发明专利]一种观察透明晶片指定区域微观形貌的快速定位方法在审

专利信息
申请号: 201910168455.7 申请日: 2019-03-06
公开(公告)号: CN109799242A 公开(公告)日: 2019-05-24
发明(设计)人: 杨丹丹;李晖;张弛;高飞;孙雪莲;程红娟;郝建民;赖占平;李宝珠 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第四十六研究所
主分类号: G01N21/88 分类号: G01N21/88;G01N21/95;G01N21/958;G01N21/84
代理公司: 天津中环专利商标代理有限公司 12105 代理人: 王凤英
地址: 300220*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 发明公开了一种观察透明晶片指定区域微观形貌的快速定位方法。该方法分两种:1、对已知微观形貌的透明晶片特定区域进行定位,并对该位置进行其他研究;2、已知定位坐标,观察透明晶片指定区域微观形貌。该方法所设计的坐标物是由横线、竖线交叉构成的方格,在方格里填写位置编码,方格边长尺寸根据所需观察区域或显微镜观察区域设定;坐标物材质采用打印纸或采用能够定型加工、刻录标识的其它材料制作的承载物。该方法具有通用性,新研发的坐标物可在显微镜下使用,显微镜下观察的位置通过坐标物计算出几何坐标来实现精准定位,减少了工作时间和不必要的工作量,避免了在样品表面标记带来损伤和沾污,对于科研的非标产品更具显著的实用性。
搜索关键词: 透明晶片 微观形貌 快速定位 观察 显微镜 方格 显微镜观察 定位坐标 方格边长 非标产品 观察区域 几何坐标 精准定位 区域设定 填写位置 位置通过 样品表面 横线 承载物 打印纸 刻录 竖线 研发 沾污 定型 工作量 损伤 加工 科研 研究
【主权项】:
1.一种观察透明晶片指定区域微观形貌的快速定位方法,其特征在于,该方法包括两种情况,第一种情况:对已知微观形貌的透明晶片特定区域进行定位,并对该位置进行其他研究;第二种情况:已知定位坐标,观察透明晶片指定区域微观形貌;第一种情况有以下步骤:步骤一,根据被测样品区域大小选取适合的坐标物;步骤二,制作坐标物;步骤三,将样品放置在坐标物上;步骤四,将承载样品的坐标物放置在显微镜载物台上;步骤五,显微镜下观察被测区域;步骤六,确定被测区域对应坐标物上的位置,并记录位置编码;步骤七,根据位置编码计算微观观察区域定位坐标;步骤八,选择其它性能测试仪器对该坐标进行测试表征;第二种情况有以下步骤:步骤一,根据被测样品区域大小选取适合的坐标物;步骤二,制作坐标物;步骤三,将样品放置在坐标物上;步骤四,将承载样品的坐标物放置在显微镜载物台上;步骤五,根据定位坐标确定被测区域对应坐标物上的位置编码;步骤六,显微镜下按已确认的位置编码定位观察被测区域;步骤七,采集微观形貌图片信息;所述的坐标物是由横线a、竖线b交叉构成的方格,在方格里填写位置编码d,方格边长为c,方格边长c尺寸根据所需观察区域或显微镜观察区域设定;所述的坐标物材质采用打印纸或采用能够定型加工、刻录标识的其它材料制作的承载物。
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