[发明专利]一种用于压电陶瓷生产的高效型真空镀膜设备在审
申请号: | 201910168240.5 | 申请日: | 2019-03-06 |
公开(公告)号: | CN109930127A | 公开(公告)日: | 2019-06-25 |
发明(设计)人: | 王海山 | 申请(专利权)人: | 深圳市乐业科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C14/56 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及一种用于压电陶瓷生产的高效型真空镀膜设备,包括主体,还包括支撑机构和清洁机构,所述支撑机构包括驱动组件、转动轴、环形齿轮和至少两个连接组件,所述连接组件包括第一齿轮、升降板、两个第二支撑杆、两个弹簧和两个连接单元,所述清洁机构包括升降环、清洁条和至少两个动力组件,所述驱动组件包括第一电机、第三齿轮和第二齿轮,该用于压电陶瓷生产的高效型真空镀膜设备中,通过支撑机构可以单次固定多个工件,同时驱动工件转动,则使真空镀膜机可以一次对多个工件同时进行镀膜,则提高了真空镀膜机的工作效率,通过清洁机构可以驱动升降环升降,则通过清洁条对真空镀膜机的内壁进行清洁,则提高了真空镀膜机的实用性。 | ||
搜索关键词: | 真空镀膜机 真空镀膜设备 清洁机构 压电陶瓷 支撑机构 高效型 齿轮 连接组件 驱动组件 清洁条 升降环 驱动 动力组件 工件转动 工作效率 环形齿轮 连接单元 升降板 支撑杆 转动轴 弹簧 镀膜 内壁 生产 升降 电机 清洁 | ||
【主权项】:
1.一种用于压电陶瓷生产的高效型真空镀膜设备,包括主体(1),所述主体(1)的形状为圆柱形,所述主体(1)的内部设有空腔,其特征在于,还包括支撑机构和清洁机构,所述支撑机构和清洁机构均设置在主体(1)的内部;所述支撑机构包括驱动组件、转动轴(4)、环形齿轮(14)和至少两个连接组件,所述转动轴(4)、环形齿轮(14)与主体(1)同轴设置,所述转动轴(4)的两端均通过轴承与主体(1)的内壁连接,所述驱动组件固定在主体(1)的内壁上,所述驱动组件与转动轴(4)连接,所述环形齿轮(14)固定在主体(1)的远离驱动组件的一侧的内壁上,各连接组件绕着转动轴(4)的中心轴线周向均匀设置在转动轴(4)的外周上;所述连接组件包括第一齿轮(10)、升降板(7)、两个第二支撑杆(12)、两个弹簧(17)和两个连接单元,所述连接单元设置在转动轴(4)的一端,所述第二支撑杆(12)与转动轴(4)平行,所述第二支撑杆(12)设置在两个连接单元之间,所述升降板(7)与第二支撑杆(12)垂直,所述升降板(7)的两端均设有安装孔,所述第二支撑杆(12)穿过升降板(7),所述弹簧(17)套设在第二支撑杆(12)上,所述第二支撑杆(12)的靠近环形齿轮(14)的一端通过弹簧(17)与升降板(7)固定连接,所述弹簧(17)处于拉伸状态,所述第一齿轮(10)设置在两个连接单元中靠近环形齿轮(14)的一个连接单元上,所述第一齿轮(10)设置在环形齿轮(14)的内部,所述第一齿轮(10)与环形齿轮(14)啮合;所述清洁机构包括升降环(11)、清洁条(21)和至少两个动力组件,所述升降环(11)与主体(1)同轴设置,所述升降环(11)设置在主体(1)的内部,所述清洁条(21)周向设置在升降环(11)的外周上,所述清洁条(21)抵靠在主体(1)的内壁上,各动力组件绕着主体(1)的中心轴线周向均匀设置,所述动力组件与主体(1)的四周的内壁固定连接,所述动力组件与升降环(11)连接。
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