[发明专利]基于等效温度的光学元件弱吸收测试装置及方法

摘要

本发明提出一种基于等效温度的光学元件弱吸收测试装置及方法，首先利用泵浦激光辐照样品，达到稳态后利用红外热像仪记录样品表面最高温度，并利用泵浦光功率计测试样品的反射和透射功率；第二步，利用探测激光器(CO2激光器，光斑尺寸与泵浦激光光斑大小相同)辐照样品表面，一般CO2对于介质膜等光学元件吸收率为1，逐渐增加探测激光功率使得样品表面温度达到第一次测试的温度，此时读取探测光功率计中的功率；最后利用探测光功率计的读数比上样品的反射与透射功率之和，即为样品表面的弱吸收率。本发明主要利用一般光学元件对CO2激光的吸收率为1，样品在泵浦光辐照下的温度特性来测试表面的弱吸收率，相比现有的技术测试不仅精度高而且操作更加简单、方便，不需要后期数据处理。

主权项

1.一种基于等效温度的光学元件弱吸收测试装置，其特征在于：包括泵浦激光器(1)、第一反射镜(2)、第二反射镜(3)、第一泵浦光功率计(4)、第二泵浦光功率计(5)、红外热像仪(7)、探测激光器(10)、分束镜(8)和探测光功率计(9)；所述的泵浦激光器(1)输出的激光经过第一反射镜(2)反射后到达样品(6)表面，经样品(6)反射的反射光入射到第二反射镜(3)，经该第二反射镜(3)反射后由第一泵浦光功率计(4)接收，经样品(6)透射的激光由第二泵浦光功率计(5)接收；所述的第一泵浦光功率计(4)用于测试样品表面反射的泵浦激光功率；所述的第二泵浦光功率计(5)用于测试通过样品的透射泵浦激光功率；所述的探测激光器(10)输出的激光经所述的分束镜(8)1:1分束，分为透射光和反射光，该反射光由所述的探测光功率计(9)接收并测量，该透射光入射到样品(6)表面，上述反射光功率与样品表面的辐照功率相等。所述的红外热像仪(7)用于观测样品(6)表面的温度。